成都友臻真空设备有限公司周荣获国家专利权
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龙图腾网获悉成都友臻真空设备有限公司申请的专利一种膜厚实时监测晶控探头组件获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223769495U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520462278.4，技术领域涉及：G01B21/08；该实用新型一种膜厚实时监测晶控探头组件是由周荣设计研发完成，并于2025-03-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种膜厚实时监测晶控探头组件在说明书摘要公布了：本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体为一种膜厚实时监测晶控探头组件，包括传感器本体，所述传感器本体的上端固定安装有固定盘，所述固定盘的顶端固定安装有传动壳，在所述传感器本体的底端固定安装有底盖，所述底盖的一侧开设有晶片槽；在所述底盖的底端活动安装有活动盘，所述传动壳与活动盘的中部之间设置有切换机构。本实用新型镀膜完成后，恢复真空室内部的压力，并取出工件，然后启动旋转气缸，旋转气缸驱动后带动活动盘旋转，使得通槽与喇叭口重叠，然后启动微型气泵，微型气泵将外部空气吸入，并压缩进入进气管，气体从进气管进入喇叭口，并喷吹清理通槽内部的膜层，清理后，再将通槽切回另一侧，这样可以重复使用晶片。
本实用新型一种膜厚实时监测晶控探头组件在权利要求书中公布了：1.一种膜厚实时监测晶控探头组件，其特征在于：包括 传感器本体1，所述传感器本体1的上端固定安装有固定盘2，所述固定盘2的顶端固定安装有传动壳3，在所述传感器本体1的底端固定安装有底盖4，所述底盖4的一侧开设有晶片槽5； 在所述底盖4的底端活动安装有活动盘6，所述传动壳3与活动盘6的中部之间设置有切换机构； 在所述活动盘6的一侧开设有通槽7，在所述传动壳3与活动盘6的左侧之间设置有喷吹清理机构。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人成都友臻真空设备有限公司，其通讯地址为：610000 四川省成都市东部新区养马街道石养路2号7栋(属简州新城范围内)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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