武汉众薪科技有限公司彭小进获国家专利权
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龙图腾网获悉武汉众薪科技有限公司申请的专利一种半导体快速退火炉结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223769244U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520304727.2，技术领域涉及：F27B17/00；该实用新型一种半导体快速退火炉结构是由彭小进;朱金;梁豆豆设计研发完成，并于2025-02-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体快速退火炉结构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种半导体快速退火炉结构，涉及退火炉结构技术领域，包括退火炉机构，所述退火炉机构包括炉体，所述炉体侧面安装有炉门，且炉体内部固定连接有放置架，且炉体内壁表面安装有加热组件，所述退火炉机构侧面设置有真空泵。本实用新型，通过真空泵在一号连接管端部产生吸力对炉体内部的空气进行排空时，此时过滤滤芯会对一号连接管抽出的空气进行过滤，避免空气中的杂质对后续的运行管道造成堵塞，能有效保护设备，防止管道堵塞与设备磨损，维护精密部件，提高工艺质量，保证真空度并防止杂质污染。
本实用新型一种半导体快速退火炉结构在权利要求书中公布了：1.一种半导体快速退火炉结构，包括退火炉机构1，所述退火炉机构1包括炉体11，所述炉体11侧面安装有炉门12，且炉体11内部固定连接有放置架13，且炉体11内壁表面安装有加热组件14，其特征在于：所述退火炉机构1侧面设置有真空泵3，且退火炉机构1上部固定连接有过滤机构2，所述过滤机构2包括过滤箱21，所述过滤箱21上部安装有箱盖22，所述箱盖22上部固定连接有一号连接管23，所述一号连接管23与炉体11上部固定连接，所述过滤箱21内部固定连接有过滤滤芯25，且过滤箱21底部固定连接有二号连接管24，所述二号连接管24与真空泵3固定连接。
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