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广州粤升半导体设备有限公司曾庆森获国家专利权

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龙图腾网获悉广州粤升半导体设备有限公司申请的专利观察视窗防污染结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223766479U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423149286.8,技术领域涉及:C30B29/36;该实用新型观察视窗防污染结构是由曾庆森;梁广锋;陈蛟设计研发完成,并于2024-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。

观察视窗防污染结构在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种观察视窗防污染结构,其包括炉体、炉盖、窗座、上盖和石英视窗,炉盖盖在炉体上,窗座上设有环形沟槽,环形沟槽的内侧槽壁上设有让气体流向所述石英视窗内表面中心位置的气流缺口。在长晶过程中,洁净气体经环形沟槽的引导并从气流缺口流出统一吹向石英视窗内表面中心位置,通过持续的吹扫,在石英视窗的下表面形成气垫层和向下流动的气流,有效炉内的浮尘和杂质接触并附着在石英视窗下表面上,能长时间保持石英视窗的清洁,方便操作人员观察炉内情况和测温等操作;同时,通过气流的吹扫作用,对视窗周围结构具有一定冷却作用,避免了因热膨胀变形产生气密性失效等问题,降低维护成本,提高设备运行稳定性,工作效率高。

本实用新型观察视窗防污染结构在权利要求书中公布了:1.一种观察视窗防污染结构,其包括炉体和盖合在所述炉体上的炉盖,所述炉盖上设有视窗开口,其特征在于,其还包括窗座、上盖和石英视窗,所述窗座设置在炉盖上,且设有与所述视窗开口相对正的视窗透口,对应所述视窗透口的外侧边缘位置于所述窗座上设有沿所述视窗透口的周向方向延伸的环形沟槽,所述石英视窗通过上盖定位封闭在所述视窗透口和环形沟槽上,所述环形沟槽的内侧槽壁上设有让气体流向所述石英视窗内表面中心位置的气流缺口。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人广州粤升半导体设备有限公司,其通讯地址为:510000 广东省广州市黄埔区枝山路13号C栋601房(部位 : 十六);或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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