苏州盈泷泽半导体设备有限公司陶明生获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州盈泷泽半导体设备有限公司申请的专利一种能够容纳晶圆电镀挂具的中间板获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223766470U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423155220.X,技术领域涉及:C25D17/08;该实用新型一种能够容纳晶圆电镀挂具的中间板是由陶明生;任中辛;徐圣才设计研发完成,并于2024-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种能够容纳晶圆电镀挂具的中间板在说明书摘要公布了:本申请公开了一种能够容纳晶圆电镀挂具的中间板,包括分流板以及设于所述分流板上的支撑组件,所述支撑组件包括竖直设于所述分流板顶部两侧的支撑柱以及设于所述支撑柱两侧的提水板,所述提水板和所述支撑柱之间形成一个晶圆电镀槽,所述支撑柱朝向所述晶圆电镀槽的一侧设置有导向面、滑轮和喷水口,所述提水板通过提杆与所述支撑柱滑动连接。本申请结构简单,使用方便,通过利用设置的导向面和滑轮引导晶圆挂具进入到晶圆电镀槽,从而减少晶圆挂具与中间板之间的摩擦,提升晶圆挂具和中间板的使用寿命。
本实用新型一种能够容纳晶圆电镀挂具的中间板在权利要求书中公布了:1.一种能够容纳晶圆电镀挂具的中间板,包括分流板1以及设于所述分流板1上的支撑组件,其特征在于,所述支撑组件包括竖直设于所述分流板1顶部两侧的支撑柱2以及设于所述支撑柱2两侧的提水板4,所述提水板4和所述支撑柱2之间形成一个晶圆电镀槽3,所述支撑柱2朝向所述晶圆电镀槽3的一侧设置有导向面201、滑轮202和喷水口203,所述提水板4通过提杆6与所述支撑柱2滑动连接。
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