南京极钼芯科技有限公司朱世同获国家专利权
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龙图腾网获悉南京极钼芯科技有限公司申请的专利一种气相沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223766431U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423294299.4，技术领域涉及：C23C16/458；该实用新型一种气相沉积设备是由朱世同设计研发完成，并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种气相沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种气相沉积设备，包括：内承载台以及环形壁；所述内承载台包括内筒体以及封闭所述内筒体一端的承载面，所述环形壁环绕所述承载面设置，所述环形壁上设置有若干进气通道以及与所述若干进气通道相对的排气通道。本实用新型通过在用于承载样品的承载面周围设置若干进气通道，能够精细控制进入反应腔室内的反应气体的流量，并且能够实现反应气体均匀进入反应腔室，从而使形成的薄膜能够均匀生长。
本实用新型一种气相沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种气相沉积设备，其特征在于，包括：内承载台110以及环形壁120；所述内承载台110包括内筒体111以及封闭所述内筒体111一端的承载面112，所述环形壁120环绕所述承载面112设置，所述环形壁120上设置有若干进气通道121以及与所述若干进气通道121相对的排气通道。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人南京极钼芯科技有限公司，其通讯地址为：210000 江苏省南京市江北新区研创园华富路1号数智溪谷科创广场6号楼10楼1006室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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