深圳市捷佳芯创科技有限责任公司张向东获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市捷佳芯创科技有限责任公司申请的专利腔室盖板及卧式HWCVD设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223766430U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423282249.4，技术领域涉及：C23C16/458；该实用新型腔室盖板及卧式HWCVD设备是由张向东;籍龙占;张海涛;盛江;沈晨鑫设计研发完成，并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本腔室盖板及卧式HWCVD设备在说明书摘要公布了：本实用新型提出了一种腔室盖板及卧式HWCVD设备，腔室盖板设有热丝导电组件和布气装置，所述热丝导电组件上连接多根热丝，且多根所述热丝连续地排成多行，布气装置出气孔、热丝及基板的位置关系为出气孔‑热丝‑基板且安装顺序为朝下安装或朝上安装。本实用新型的热丝紧密拼接成间隔分布的多行，便于模块化安装于腔室盖板；将热丝行平行横穿至载板两侧的布气管嵌入腔室盖板内，同时每个行列化的热丝安装条也嵌入到了腔盖内，安装位置均平齐于腔盖表面。
本实用新型腔室盖板及卧式HWCVD设备在权利要求书中公布了：1.一种用于卧式HWCVD设备的腔室盖板，所述腔室盖板安装在槽体上使槽体内形成腔室，其特征在于，所述腔室盖板设有热丝导电组件和布气装置，所述热丝导电组件上连接多根热丝，且多根所述热丝连续地排成多行，所述热丝位于布气装置的出气孔与所述腔室内的基片之间的位置，使从出气孔出来的气体经热丝加热后再到达基片。
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