南京极钼芯科技有限公司朱世同获国家专利权
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龙图腾网获悉南京极钼芯科技有限公司申请的专利样品托以及具有该样品托的薄膜转移装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223766429U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423278110.2,技术领域涉及:C23C16/458;该实用新型样品托以及具有该样品托的薄膜转移装置是由朱世同设计研发完成,并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本样品托以及具有该样品托的薄膜转移装置在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种样品托以及具有该样品托的薄膜转移装置,样品托包括优弧部以及分别位于优弧部的两开放端处的第一端部和第二端部;由第一端部沿轴线方向延伸,并朝向与优弧部对应的圆心延伸的第一托部;由第二端部沿轴线方向延伸,并朝向圆心延伸的第二托部;以及由优弧部沿轴线方向延伸,并朝向圆心延伸的第三托部;其中,轴线与优弧部所在平面之间具有夹角,并且第一托部、第二托部以及第三托部位于优弧部所在平面的同一侧。薄膜转移装置包括上述的样品托,还包括真空腔体、被转移托盘以及位移机构,被转移托盘设置于真空腔体的底板上。本实用新型在真空腔体内设置非真空吸附的样品托,通过该样品托在真空环境下来实现样品的抓取和转移。
本实用新型样品托以及具有该样品托的薄膜转移装置在权利要求书中公布了:1.一种样品托,其特征在于,包括: 优弧部251以及分别位于所述优弧部251的两开放端处的第一端部252和第二端部253; 由所述第一端部252沿轴线方向延伸,并朝向与所述优弧部251对应的圆心延伸的第一托部254; 由所述第二端部253沿轴线方向延伸,并朝向所述圆心延伸的第二托部255;以及 由所述优弧部251沿轴线方向延伸,并朝向所述圆心延伸的第三托部256; 其中,所述轴线与所述优弧部251所在平面之间具有夹角,并且所述第一托部254、所述第二托部255以及所述第三托部256位于所述优弧部251所在平面的同一侧。
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