深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司李学文获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司申请的专利一种晶舟转运设备及应用其的ALD系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223766428U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423313916.0，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种晶舟转运设备及应用其的ALD系统是由李学文;张勇;刘兵吉;方圆;廖凯;许林华设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶舟转运设备及应用其的ALD系统在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种晶舟转运设备及应用其的ALD系统，其中晶舟转运设备包括进出舟模块，包括接舟驱动装置，用于驱动接舟载具在第一进出舟位置和第二进出舟位置间运动；接舟检测装置，用于检测接舟载具是否接收目标晶舟到位；移舟模块，包括中转驱动装置，用于驱动移舟机构将目标晶舟在第二进出舟位置的接舟载具和推舟模块的推舟载具间转移；推舟模块，包括装卸驱动装置，用于驱动推舟载具进出ALD设备反应腔，使目标晶舟装卸于反应腔。本实用新型提供的晶舟转运设备，通过优化机械结构、传感器布局和信号判别及各装置协同控制方法，实现故障降低晶舟转运设备故障率、在系统运行过程出现故障时避免因信号误判造成安全隐患，大幅满足ALD设备产能。
本实用新型一种晶舟转运设备及应用其的ALD系统在权利要求书中公布了：1.一种晶舟转运设备，其特征在于，包括： 进出舟模块1，包括：接舟驱动装置11，用于驱动接舟载具12在第一进出舟位置A和第二进出舟位置B之间运动；接舟检测装置13，用于检测所述接舟载具12是否接收目标晶舟4到位； 移舟模块2，包括中转驱动装置21，用于驱动移舟机构22将所述目标晶舟4在抵达所述第二进出舟位置B的接舟载具12和推舟模块3的推舟载具32之间转移； 所述推舟模块3，包括装卸驱动装置31，用于驱动所述推舟载具32进出于ALD设备的反应腔，以使目标晶舟4装卸于所述反应腔。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市坪山区龙田街道竹坑社区金牛东路62号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励