买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司申请的专利一种真空镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223766427U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423313910.3，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种真空镀膜设备是由廖凯;张勇;李学文;陈琦;刘兵吉设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种真空镀膜设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种真空镀膜设备，包括外腔体，其一端设有第一敞口、相对另一端设有远离第一敞口外凸、连通下游设备与外腔体内部的外层抽气口；中层隔离筒，设于外腔体中，其一端设有第二敞口、另一端设有嵌入外层抽气口的中层出气口；内层隔离筒，设于中层隔离筒中，其一端设有第三敞口、相对另一端设有嵌入中层出气口的内层出气口；物料载具，其相对两端分别设有进气敞口和出气敞口，通过第一敞口、第二敞口和第三敞口进出于内层隔离筒，且物料载具置于内层隔离筒中时进气敞口和出气敞口分别朝向第一敞口和外层抽气口；炉门盖，安装于第一敞口；喷淋装置，设于外腔体中并位于第一敞口和第二敞口之间，用于向物料载具中的目标基片喷淋反应气体。

本实用新型一种真空镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种真空镀膜设备，其特征在于，包括： 外腔体1，其一端设有第一敞口11，其相对另一端设有远离所述第一敞口11外凸、连通下游设备与外腔体1内部的外层抽气口12； 中层隔离筒2，设于外腔体1中，其一端设有第二敞口21，其相对另一端设有嵌入所述外层抽气口12的中层出气口22； 内层隔离筒3，设于中层隔离筒2中，其一端设有第三敞口31，其相对另一端设有嵌入所述中层出气口22的内层出气口32； 物料载具4，其相对两端分别设有进气敞口41和出气敞口42，通过第一敞口11、第二敞口21和第三敞口31进出于内层隔离筒3，且物料载具4置于内层隔离筒3中时所述进气敞口41和所述出气敞口42分别对应朝向第一敞口11和外层抽气口12； 炉门盖5，安装于第一敞口11处，用于启闭外腔体1； 喷淋装置6，设于外腔体1中并位于第一敞口11和第二敞口21之间，用于向承载于物料载具4中的目标基片喷淋反应气体。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市坪山区龙田街道竹坑社区金牛东路62号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。