深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司高腾获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司申请的专利抽空管道或阀的保护装置及化学气相沉积设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223766426U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423313908.6,技术领域涉及:C23C16/455;该实用新型抽空管道或阀的保护装置及化学气相沉积设备是由高腾;张勇;李学文;刘兵吉;廖凯;陈琦设计研发完成,并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本抽空管道或阀的保护装置及化学气相沉积设备在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种抽空管道或阀的保护装置及化学气相沉积设备。抽空管道连通高温反应室,抽空管道和或阀的外壁上缠绕设有加热装置,通过在抽空管道或阀的外壁上缠绕加热装置,并对加热装置进行温度控制,可以针对高温反应室内不同的气体反应物调整不同的温度,从而有效降低粉尘或固体反应物在抽空管道内壁或阀内壁上的产生。这大大减少了因粉尘堆积而导致的管道堵塞和阀失效问题。由于加热装置能有效减少粉尘堆积,因此延长了抽空管道和阀的维护周期。这降低了设备的维护成本,提高了设备的可靠性和稳定性。本实用新型的设计不需要改变抽空管道及阀的原有排布,因此可以方便地应用于现有设备中,无需进行大规模的设备改造或重建。
本实用新型抽空管道或阀的保护装置及化学气相沉积设备在权利要求书中公布了:1.一种抽空管道或阀的保护装置,所述抽空管道连通高温反应室,其特征在于,所述抽空管道和或阀的外壁上缠绕设有加热装置。
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