深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司黄章羽获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司申请的专利反应源供给系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223766424U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423313904.8，技术领域涉及：C23C16/44；该实用新型反应源供给系统是由黄章羽;张勇;李军阳;刘兵吉;廖凯设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本反应源供给系统在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种反应源供给系统，其与反应腔室连通，并且其包括源瓶、载气支路以及输源支路，源瓶内装有液态反应源，载气支路的一端连接于源瓶，载气支路向源瓶输送载气使部分液态反应源转化为气态反应源，输源支路的两端分别连接于源瓶与反应腔室，输源支路向反应腔室输送携带有气态反应源的载气，其中，输源支路上安装有限流件，限流件限制携带有气态反应源的载气流量；本实用新型在满足镀膜工艺所需的气态反应源量的条件下，减少液态反应源转化成气态反应源进入反应腔室的进气量，一方面可以减少液态反应源的消耗，一方面可以减少因气态反应源过量影响镀膜质量。
本实用新型反应源供给系统在权利要求书中公布了：1.一种反应源供给系统，所述反应源供给系统与反应腔室连通，其特征在于，包括： 源瓶，所述源瓶内装有液态反应源； 载气支路，所述载气支路的一端连接于所述源瓶，所述载气支路向所述源瓶输送载气使部分所述液态反应源转化为气态反应源； 输源支路，所述输源支路的两端分别连接于所述源瓶与所述反应腔室，所述输源支路向所述反应腔室输送携带有所述气态反应源的载气； 其中，所述输源支路上安装有限流件，所述限流件限制携带有所述气态反应源的载气流量。
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