湖南顶立科技股份有限公司戴煜获国家专利权
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龙图腾网获悉湖南顶立科技股份有限公司申请的专利适用于环形工件的双加热器化学气相沉积设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223766423U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422938764.7,技术领域涉及:C23C16/44;该实用新型适用于环形工件的双加热器化学气相沉积设备是由戴煜;胡祥龙;王艳艳;胡高健;谌雷;魏巍设计研发完成,并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本适用于环形工件的双加热器化学气相沉积设备在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种适用于环形工件的双加热快速化学气相沉积设备,包括炉体、设置在炉体内的保温层、电阻加热器以及直流电源、外隔离桶、设置在外隔离桶中心区域的内隔离桶,设置在所述内隔离桶内的感应加热器以及交流电源;电阻加热器设置在外隔离桶和保温层之间;外隔离桶和内隔离桶之间形成用于加工环形工件的沉积室。通过设置外隔离桶和内隔离桶,形成用于加工环形工件的沉积室,使得整个设备内的空间紧凑,提高了工艺气体的利用率,降低了生产成本;通过设置与直流电源电连接的电阻加热器,并在内隔离桶内的与交流电源电连接的感应加热器,从而实现了不同阶段使用不同的加热器,以加快沉积速度,提高生产效率。
本实用新型适用于环形工件的双加热器化学气相沉积设备在权利要求书中公布了:1.一种适用于环形工件的双加热器化学气相沉积设备,包括炉体、设置在所述炉体内的保温层、设置在炉体内的电阻加热器以及与所述加热器电连接的直流电源,其特征在于,设置在所述保温层内部的外隔离桶、设置在所述外隔离桶中心区域的内隔离桶,设置在所述内隔离桶内的螺旋状感应加热器,设置在所述炉体外部与所述感应加热器电连接的交流电源;所述电阻加热器设置在所述外隔离桶和所述保温层之间;所述外隔离桶和所述内隔离桶之间形成用于加工环形工件的沉积室。
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