广州增芯科技有限公司赵增利获国家专利权
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龙图腾网获悉广州增芯科技有限公司申请的专利一种PVD设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223766422U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520135924.6，技术领域涉及：C23C14/56；该实用新型一种PVD设备是由赵增利设计研发完成，并于2025-01-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种PVD设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种PVD设备，包括：壳体；静电吸盘，位于所述壳体内，用于对晶圆进行静电吸附固定，所述静电吸盘包括贯穿孔；以及升降顶针，位于所述壳体内，且贯穿所述贯穿孔，所述升降顶针用于支撑所述晶圆并带动所述晶圆相对所述静电吸盘进行升降；所述升降顶针的侧壁上设有吹气口，用于对所述静电吸盘的表面进行吹扫，以清除所述静电吸盘表面上的杂质颗粒。本实用新型可以在保持腔室真空环境的情况下，吹扫掉静电吸盘表面的微粒，达到清洁静电吸盘表面的作用。
本实用新型一种PVD设备在权利要求书中公布了：1.一种PVD设备，其特征在于，包括： 壳体； 静电吸盘，位于所述壳体内，用于对晶圆进行静电吸附固定，所述静电吸盘包括贯穿孔；以及 升降顶针，位于所述壳体内，且贯穿所述贯穿孔，所述升降顶针用于支撑所述晶圆并带动所述晶圆相对所述静电吸盘进行升降；所述升降顶针的侧壁上设有吹气口，用于对所述静电吸盘的表面进行吹扫，以清除所述静电吸盘表面上的杂质颗粒。
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