昂纳科技(深圳)集团股份有限公司马文鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉昂纳科技(深圳)集团股份有限公司申请的专利一种薄膜沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223766412U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423305516.5，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种薄膜沉积设备是由马文鹏;王世辉设计研发完成，并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种薄膜沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体涉及一种薄膜沉积设备。该薄膜沉积设备包括偏压电源装置、驱动装置、真空腔室以及设置在真空腔室内的工件定位装置和沉积源；其中，工件定位装置设置有用于定位工件的定位区域；沉积源用于产生薄膜源材料并使薄膜源材料向外溅射，沉积源的溅射端朝向工件定位装置的定位区域设置；偏压电源装置的电压输出端伸入真空腔室，且与工件定位装置连接，以通过工件定位装置对工件施加偏压；驱动装置的驱动轴伸入真空腔室，并通过绝缘联轴器与工件定位装置的旋转轴连接，并驱动工件定位装置旋转。本申请可避免施加有偏压的工件定位装置通过驱动装置的驱动轴将偏压传导到外部，避免电源短路，降低安全隐患。
本实用新型一种薄膜沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种薄膜沉积设备，其特征在于，包括偏压电源装置、驱动装置、真空腔室以及设置在所述真空腔室内的工件定位装置和沉积源；其中， 所述工件定位装置设置有用于定位工件的定位区域； 所述沉积源用于产生薄膜源材料并使薄膜源材料向外溅射，所述沉积源的溅射端朝向所述工件定位装置的定位区域设置； 所述偏压电源装置的电压输出端伸入所述真空腔室，且与所述工件定位装置电连接，以通过所述工件定位装置对所述工件施加偏压； 所述驱动装置的驱动轴伸入所述真空腔室，并通过绝缘联轴器与所述工件定位装置的旋转轴连接，并驱动所述工件定位装置旋转。
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