东莞市华誉光电科技有限公司郭勇森获国家专利权
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龙图腾网获悉东莞市华誉光电科技有限公司申请的专利一种磁控镀膜结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223766411U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423128839.1,技术领域涉及:C23C14/35;该实用新型一种磁控镀膜结构是由郭勇森设计研发完成,并于2024-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种磁控镀膜结构在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种磁控镀膜结构,包括箱体,所述箱体的下方设置有下方储物箱,所述箱体的上方设置有上方腔体,所述上方腔体的前端设置有箱门,所述箱体的一端固定安装有真空泵,所述真空泵的一侧固定安装有抽气管,所述抽气管的中间设置有过滤箱,所述抽气管与扩散口相连接,本实用新型的优点在于:设置固定支撑架和滑动支撑架的顶端均固定安装有L形夹设架,挤压柱的一端固定安装有弹簧,L形夹设架具有较大的适应性,能够夹持不同形状、尺寸的基材,从而满足多种镀膜工艺的需求,确保待镀膜基材在镀膜过程中保持稳定,避免因基材晃动或移位而导致的镀膜质量下降。
本实用新型一种磁控镀膜结构在权利要求书中公布了:1.一种磁控镀膜结构,包括箱体11,所述箱体11的下方设置有下方储物箱12,所述箱体11的上方设置有上方腔体13,所述上方腔体13的前端设置有箱门14,其特征在于:所述箱体11的一端固定安装有真空泵15,所述真空泵15的一侧固定安装有抽气管17,所述抽气管17的中间设置有过滤箱18,所述抽气管17通过扩散口19与所述上方腔体13相连接,所述扩散口19设置在箱体11的外壁上,所述箱体11的外壁还安装有通气管16,所述通气管16的一端与所述上方腔体13相连通,其另一端与外部泵机相连通,所述上方腔体13的顶端固定安装有溅射结构21,所述上方腔体13的底端位于所述溅射结构21的下方固定安装有磁控结构22,所述磁控结构22的一侧固定安装有固定支撑架23,所述磁控结构22的另一侧活动安装有滑动支撑架24。
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