台州汇欣新材料科技有限公司莫申波获国家专利权
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龙图腾网获悉台州汇欣新材料科技有限公司申请的专利一种磁控溅射镀膜装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223766410U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423123374.0,技术领域涉及:C23C14/35;该实用新型一种磁控溅射镀膜装置是由莫申波;孔勇建;周卫星设计研发完成,并于2024-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种磁控溅射镀膜装置在说明书摘要公布了:本实用新型适用于工件加工技术领域,提供了一种磁控溅射镀膜装置,包括箱体和安装在所述箱体内壁底部的磁铁和溅射器;安装在所述箱体一侧的真空管;设于所述箱体内用于放置靶材的靶材架,所述靶材架位于所述溅射器的上方;设于所述靶材架上方的一组连接块;分别转动安装在一组所述连接块上用于固定加工零件的一组夹块;设于任一所述夹块上用于对加工零件进行翻面的翻面机构。本方案提供的磁控溅射镀膜装置通过翻面机构设计,有效提高了镀膜效率和操作便捷性,同时保持了镀膜质量,并扩大了装置的适用范围。
本实用新型一种磁控溅射镀膜装置在权利要求书中公布了:1.一种磁控溅射镀膜装置,其特征在于,包括: 箱体和安装在所述箱体内壁底部的磁铁和溅射器; 安装在所述箱体一侧的真空管; 设于所述箱体内用于放置靶材的靶材架,所述靶材架位于所述溅射器的上方; 设于所述靶材架上方的一组连接块; 分别转动安装在一组所述连接块上用于固定加工零件的一组夹块; 设于任一所述夹块上用于对加工零件进行翻面的翻面机构,所述翻面机构包括:设于所述箱体内连接架,所述连接架与任一所述夹块的输出杆转动连接;固定安装在所述连接架顶部的第一电机;分别固定套设在所述第一电机输出轴和夹块输出杆上的一组锥形齿轮,一组所述锥形齿轮相啮合。
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