江苏中科汉韵半导体有限公司黄云辉获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏中科汉韵半导体有限公司申请的专利具有防堵塞功能的刻蚀机腔体用吹吸一体式清洁头获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223761643U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423274391.4，技术领域涉及：B08B5/02；该实用新型具有防堵塞功能的刻蚀机腔体用吹吸一体式清洁头是由黄云辉;胡博文;张颢;王晨;崔凯凯设计研发完成，并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有防堵塞功能的刻蚀机腔体用吹吸一体式清洁头在说明书摘要公布了：本实用新型属于吹吸一体式清洁头技术领域，具体涉及具有防堵塞功能的刻蚀机腔体用吹吸一体式清洁头，包括控制器和连接在控制器一端的储存盒，所述储存盒的另一端连接有连通杆，所述连通杆的另一端连接有清洁头罩，本实用新型通过操控控制器内部的电机进行运转，带动清洁头罩端部进行吹气或吸气，进而对刻蚀机腔体内部的杂质进行处理，当过滤板表面的过滤网出现堵塞时，则将过滤板内壁的导向块沿着控制器表面的滑动槽进行滑动，同时将磁块从控制器的一端进行快速拆分，进而方便将过滤板表面的过滤网进行快速拆卸清洗，避免无法快速拆装导致吹吸一体式清洁头内部出现堵塞的现象，提升了吹吸一体式清洁头的使用寿命。
本实用新型具有防堵塞功能的刻蚀机腔体用吹吸一体式清洁头在权利要求书中公布了：1.具有防堵塞功能的刻蚀机腔体用吹吸一体式清洁头，包括控制器1和连接在控制器1一端的储存盒2，其特征在于：所述储存盒2的另一端连接有连通杆3，所述连通杆3的另一端连接有清洁头罩4； 所述控制器1靠近储存盒2的一端连接有过滤板5，所述过滤板5的开口处安装有过滤网6，所述过滤板5的内壁连接有导向块7，所述控制器1靠近导向块7的表面开设有滑动槽8，所述导向块7的一侧表面连接有磁块9。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏中科汉韵半导体有限公司，其通讯地址为：221000 江苏省徐州市徐州经济技术开发区创业路26号A-2厂房1F-2F；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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