日月新半导体(昆山)有限公司唐灏获国家专利权
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龙图腾网获悉日月新半导体(昆山)有限公司申请的专利一种晶圆清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223761626U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520255681.X，技术领域涉及：B08B3/10；该实用新型一种晶圆清洗装置是由唐灏设计研发完成，并于2025-02-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及晶圆生产技术领域，公开了一种晶圆清洗装置，包括清洗桶，清洗桶内顶部开设有插槽。本实用新型与现有技术相比的优点在于：在晶圆清洗装置中使用调节组件带动搅拌组件对清洗桶内晶圆清洗药剂进行搅拌晃动，使清洗药剂与晶圆表面的接触更充分，便于将污染物冲洗掉，且使清洗药剂相比静止状态混合更均匀，提高对晶圆的清洗效果，在晶圆清洗装置中使用压紧组件便于将晶圆固定住，使其在清洗时更稳定不易磕碰损坏。
本实用新型一种晶圆清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洗装置，包括清洗桶1，其特征在于：所述清洗桶1内顶部开设有插槽2，所述插槽2内插接有固定架3，所述固定架3一端连接设有调节组件，所述清洗桶1内壁底部固定连接有支撑底板16，所述支撑底板16上连接设有压紧组件； 所述调节组件包括支撑架4，所述支撑架4固定连接在固定架3一端，所述支撑架4外侧固定连接有连接架5，所述连接架5底端固定连接有驱动电机6，所述支撑架4中部固定连接有连接块7，所述驱动电机6输出端穿过连接块7固定连接有转盘14，所述转盘14内开设有滑槽15，所述支撑架4两端均固定连接有支撑块8，所述支撑块8内转动连接有固定杆9，所述固定杆9外侧固定连接有固定板10，所述固定板10设有两组，两组所述固定板10之间固定连接有驱动杆11，所述驱动杆11外侧转动并滑动连接有套筒12，所述套筒12外侧固定连接有滑杆13，所述滑杆13在滑槽15内滑动，所述固定杆9底部连接设有搅拌组件。
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