江阴江化微电子材料股份有限公司浦陈龙获国家专利权
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龙图腾网获悉江阴江化微电子材料股份有限公司申请的专利一种钼腐蚀液拼配装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223760535U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423236892.3,技术领域涉及:B01D29/56;该实用新型一种钼腐蚀液拼配装置是由浦陈龙;苏铁龙;刘海斌;丁磊;李阳设计研发完成,并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种钼腐蚀液拼配装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及钼腐蚀液生产技术领域,具体地说,涉及一种钼腐蚀液拼配装置。该拼配装置包括至少2个原料桶、纯水管路、氦气管路和磷酸管路,还包括拼配桶,拼配桶顶部与原料罐、纯水管路、氦气管路和磷酸管路均连通,拼配桶底部设有出液管路,出液管路处设有循环泵,循环泵用于将输液管路中的液体输送至拼配桶顶部;还包括过滤管路,过滤管路与拼配桶顶部连通,过滤管路上沿液体流动方向依次设有第二球阀、一级过滤器、二级过滤器和三级过滤器。本实用新型能够提高了过滤效率,减少了成品钼腐蚀液中的颗粒含量,从而较佳地提高了钼腐蚀液的成品品质。
本实用新型一种钼腐蚀液拼配装置在权利要求书中公布了:1.一种钼腐蚀液拼配装置,包括至少一个原料桶、纯水管路、氦气管路和磷酸管路,其特征在于,还包括拼配桶,拼配桶顶部与原料罐、纯水管路、氦气管路和磷酸管路均连通,拼配桶底部设有出液管路,出液管路处设有循环泵,循环泵用于将输液管路中的液体输送至拼配桶顶部;循环泵具有第一进口和第一出口,第一进口与出液管路连通,第一出口处设有第一管路,拼配桶顶部对应设有第一进料口,第一管路与第一进料口连通,第一管路处设有第一球阀,第一球阀与循环泵之间设有第一连接点,第一连接点处设有过滤管路,过滤管路与拼配桶顶部连通,过滤管路上沿液体流动方向依次设有第二球阀、一级过滤器、二级过滤器和三级过滤器。
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