季华实验室陈蕊获国家专利权
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龙图腾网获悉季华实验室申请的专利一种增强型高精度金属掩膜板获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121065629B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511622858.6,技术领域涉及:C23C14/04;该发明授权一种增强型高精度金属掩膜板是由陈蕊;崔长植;孙闯;刘卉;周天林设计研发完成,并于2025-11-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种增强型高精度金属掩膜板在说明书摘要公布了:本发明涉及OLED器件领域,公开了一种增强型高精度金属掩膜板,包括掩膜板、位于掩膜板中部的蒸镀区,以及位于掩膜板靠近两侧边缘的非蒸镀区;所述蒸镀区中布设有多个微孔阵列;所述非蒸镀区中开设有多个贯穿所述掩膜板的六边形开孔单元,每一个所述六边形开孔单元的内部均设置有冷却通道,所述冷却通道中用于通入冷却介质。通过在非蒸镀区采用仿生蜂窝镂空结构,使非蒸镀区实现轻量化减重80%的同时达到高刚性。形成的独立的开孔单元能够隔离热应力的长程传递,从结构上避免了整体性的翘曲变形。同时,通过在开孔单元中引入冷却通道,通过外置的PID温控系统,实现对掩膜板整体温度的调控,从根源上杜绝了热蠕变问题的发生。
本发明授权一种增强型高精度金属掩膜板在权利要求书中公布了:1.一种增强型高精度金属掩膜板,其特征在于,包括掩膜板、位于掩膜板中部的蒸镀区,以及位于掩膜板靠近两侧边缘的非蒸镀区;所述蒸镀区中布设有多个微孔阵列;所述非蒸镀区中开设有多个贯穿所述掩膜板的六边形开孔单元,每一个所述六边形开孔单元的内部均设置有冷却通道,所述冷却通道中用于通入冷却介质。
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