荣芯半导体(宁波)有限公司王刚获国家专利权
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龙图腾网获悉荣芯半导体(宁波)有限公司申请的专利图像传感器及其制作方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121038393B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511517420.1,技术领域涉及:H10F39/18;该发明授权图像传感器及其制作方法是由王刚设计研发完成,并于2025-10-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本图像传感器及其制作方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种图像传感器及其制作方法。该图形传感器中,衬底内具有多个光电转换区,第一介质层位于衬底上,沟槽贯穿第一介质层且底面位于衬底中,沟槽还位于相邻的光电转换区之间,第一绝缘层保形地覆盖沟槽的内表面,至少两个电极层位于第一绝缘层上且填充在沟槽内,相邻两个电极层之间设置有第二绝缘层,第二介质层位于第一介质层上且覆盖电极层,第二介质层中具有与电极层连接的导通孔,金属格栅位于第二介质层上且位于沟槽上方,金属格栅通过导通孔与电极层电连接。这样可以改善相邻像素之间的光电荷串扰,提高图像传感器的SNR,提高图像传感器的成像质量。本发明提供的制作方法可以制作上述的图像传感器。
本发明授权图像传感器及其制作方法在权利要求书中公布了:1.一种图像传感器,其特征在于,包括: 衬底,其内具有多个光电转换区; 第一介质层,其位于所述衬底上; 沟槽,其贯穿所述第一介质层且底面位于所述衬底中,所述沟槽位于相邻的所述光电转换区之间; 第一绝缘层,其保形地覆盖所述沟槽的内表面; 至少两个电极层,其位于所述第一绝缘层上且填充在所述沟槽内,相邻两个所述电极层之间设置有第二绝缘层,所述至少两个电极层包括位于所述第一绝缘层上的第一电极层以及位于所述第一电极层上的第二电极层; 第二介质层,其位于所述第一介质层上且覆盖所述电极层,所述第二介质层中具有与所述电极层连接的导通孔;以及 金属格栅,其位于所述第二介质层上且位于所述沟槽上方,所述金属格栅通过所述导通孔与所述电极层电连接,其中,所述金属格栅包括沿第一方向延伸的第一部分以及沿第二方向延伸的多个第二部分,多个所述第二部分位于所述第一部分的两侧且未与所述第一部分连接,所述第一电极层和所述第二电极层中的一者通过对应的导通孔与所述第一部分电连接,所述第一电极层和所述第二电极层中的另一者通过对应的导通孔与多个所述第二部分电连接。
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