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龙图腾网获悉青岛思锐智能科技股份有限公司申请的专利电子回旋共振离子源获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121038083B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511575027.8，技术领域涉及：H05H1/46；该发明授权电子回旋共振离子源是由王书松;范俊杰;叶佩倩;张丛;谢均宇;胡海欣设计研发完成，并于2025-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本电子回旋共振离子源在说明书摘要公布了：本发明公开了一种电子回旋共振离子源，包括多个微波传输模块、多个微波谐振腔、等离子体发生室和磁场模块，微波传输模块包括微波源、阻抗匹配器和波导，微波源用于产生和发射微波，多个微波源产生的微波频率相同或不同，波导的入口与微波源连接、出口与微波谐振腔连接，每个波导对应连接一个微波谐振腔，阻抗匹配器用于调节微波的频率和驻波、实现微波馈入的阻抗匹配，等离子体发生室的入口与多个微波谐振腔的出口连接，在等离子体发生室和多个微波谐振腔的边界形成自由电子，磁场模块用于产生磁场，使得自由电子在等离子体发生室内做螺旋运动并与等离子体发生室内通入的背景气体碰撞产生等离子体。可实现多频微波馈入，提升等离子体的均匀度。

本发明授权电子回旋共振离子源在权利要求书中公布了：1.一种电子回旋共振离子源，其特征在于，包括多个微波传输模块、多个微波谐振腔、等离子体发生室和磁场模块， 所述微波传输模块包括微波源、阻抗匹配器和波导，所述微波源用于产生和发射微波，多个所述微波传输模块的所述微波源产生的微波频率相同或不同，所述波导的入口与所述微波源连接，所述波导的出口与所述微波谐振腔连接，所述波导用于将微波传输至所述微波谐振腔，所述微波谐振腔的数量与所述微波传输模块的数量相同，每个所述波导对应连接一个所述微波谐振腔，所述阻抗匹配器设置在所述波导上，所述阻抗匹配器用于调节微波的频率和驻波、实现微波馈入的阻抗匹配， 所述等离子体发生室的入口与多个所述微波谐振腔的出口连接，多个所述微波谐振腔用于将微波馈入所述等离子体发生室，在所述等离子体发生室和多个所述微波谐振腔的边界形成自由电子， 所述磁场模块用于产生磁场，使得所述自由电子在所述等离子体发生室内做螺旋运动并与所述等离子体发生室内通入的背景气体碰撞产生等离子体。

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