包头稀土研究院岳帅军获国家专利权
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龙图腾网获悉包头稀土研究院申请的专利降低纳米氧化铈的松装密度的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120864546B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511373963.0,技术领域涉及:C01F17/235;该发明授权降低纳米氧化铈的松装密度的方法是由岳帅军;李晓佩;胡群;张振宇;赵枫;周红秀;刘杨;范娜;崔燕英;赵思远设计研发完成,并于2025-09-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本降低纳米氧化铈的松装密度的方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种降低纳米氧化铈的松装密度的方法,包括以下步骤:1在搅拌下,将碱性沉淀剂水溶液与铈盐水溶液混合,得到初始混合物,并控制初始混合物的pH值大于等于8,然后继续搅拌反应1~5h,得到反应混合物;2将反应混合物静置,然后除去上层水相,得到下层沉淀;将下层沉淀在175~240℃下干燥,得到干燥后固体;3将干燥后固体用水洗涤,得到洗涤后固体;将洗涤后固体在175~240℃下干燥,得到纳米氧化铈。该方法可以降低所得纳米氧化铈的松装密度,提高所得纳米氧化铈对硅晶圆的抛光质量。
本发明授权降低纳米氧化铈的松装密度的方法在权利要求书中公布了:1.一种降低纳米氧化铈的松装密度的方法,其特征在于,包括以下步骤: 1在15~40℃以及搅拌条件下,将碱性沉淀剂水溶液滴加到铈盐水溶液中混合,得到初始混合物,并控制初始混合物的pH值为11;然后在25~30℃下继续搅拌反应1~5h,得到反应混合物; 其中,铈盐水溶液由水溶性铈盐溶于水中形成;所述铈盐水溶液选自氯化铈水溶液、硝酸铈水溶液和硫酸铈水溶液中的一种或多种; 其中,所述碱性沉淀剂水溶液选自碱金属氢氧化物水溶液; 2将反应混合物静置,然后除去上层水相,得到下层沉淀;将下层沉淀在180~190℃下干燥,得到干燥后固体;其中,通过倾倒除去水相或吸取水相除去,而不是进行过滤或离心; 3将干燥后固体用水洗涤,得到洗涤后固体;将洗涤后固体在180~190℃下干燥,得到纳米氧化铈。
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