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龙图腾网获悉亿威盛半导体科技(上海)有限公司申请的专利一种基于多模态传感器的碳化硅研磨装置故障智能检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120772950B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511046812.4，技术领域涉及：B24B37/005；该发明授权一种基于多模态传感器的碳化硅研磨装置故障智能检测方法是由丁双伟设计研发完成，并于2025-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于多模态传感器的碳化硅研磨装置故障智能检测方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种基于多模态传感器的碳化硅研磨装置故障智能检测方法，属于深度学习的半导体加工监测技术领域；首先，采集碳化硅研磨过程中的工件接触面应力数据、研磨区域温度数据、研磨液电导率数据和研磨电机振动信号数据；然后，构建研磨装置状态特征提取模块对四种数据进行特征提取与融合获得融合特征；将获得的融合特征输入构建的碳化硅研磨装置故障检测网络获得碳化硅研磨装置故障检测结果；最后，设计动态增量学习优化方法，对当前研磨装置状态特征提取模块和碳化硅研磨装置故障检测网络的参数进行动态更新。本发明实现了对研磨装置运行状态的全维度动态感知，解决现有静态模型无法长期适应环境变化的问题，确保故障检测的持续可靠性。

本发明授权一种基于多模态传感器的碳化硅研磨装置故障智能检测方法在权利要求书中公布了：1.一种基于多模态传感器的碳化硅研磨装置故障智能检测方法，其特征在于，包括以下过程： S1，基于部署的应力传感器、温度传感器、液体电导率传感器和加速度传感器实时采集碳化硅研磨过程中的工件接触面应力数据、研磨区域温度数据、研磨液电导率数据和研磨电机振动信号数据； S2，基于构建的研磨装置状态特征提取模块对工件接触面应力数据、研磨区域温度数据、研磨液电导率数据和研磨电机振动信号数据进行特征提取与融合，获得融合特征； S3，将获得的融合特征输入构建的碳化硅研磨装置故障检测网络获得在采集周期T内，时间均分的L个时间段内的碳化硅研磨装置故障检测结果，包括正常研磨、异常过载、异常过热和异常振动四种类别； 同时，基于S1采集的数据、S3获得的组碳化硅研磨装置故障检测结果以及实时获取的组碳化硅研磨装置故障真实结果，通过动态增量学习机制，持续优化研磨装置状态特征提取模块和碳化硅研磨装置故障检测网络的参数；所述动态增量学习机制具体为： 获取组碳化硅研磨装置故障真实结果、历史最优的研磨装置状态特征提取模块参数和历史最优的碳化硅研磨装置故障检测网络参数； 设计抗遗忘损失函数平衡新知识学习与历史知识保留；通过碳化硅研磨装置故障损失以及模型参数正则化损失加权获得，、分别为、的权重系数；为获得的组碳化硅研磨装置故障检测结果和组碳化硅研磨装置故障真实结果之间的交叉熵损失； 基于当前研磨装置状态特征提取模块参数和碳化硅研磨装置故障检测网络参数组成的参数矩阵和历史最优的研磨装置状态特征提取模块参数和历史最优的碳化硅研磨装置故障检测网络参数组成的参数矩阵，通过费舍尔信息矩阵计算获得； 利用反向传播更新当前研磨装置状态特征提取模块参数和当前碳化硅研磨装置故障检测网络参数。

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