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龙图腾网获悉三河同飞制冷股份有限公司申请的专利一种半导体领域多模式结合的温控装置的控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120762481B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510965381.5，技术领域涉及：G05D23/20；该发明授权一种半导体领域多模式结合的温控装置的控制方法是由李明泽;张浩雷;张伟华;吴国荣;杜燎原;刘振波;陈振国设计研发完成，并于2025-07-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体领域多模式结合的温控装置的控制方法在说明书摘要公布了：本申请提供一种半导体领域多模式结合的温控装置的控制方法，涉及半导体加工技术领域，包括以下步骤：实时获取循环介质的实时介质温度，并得到实时介质温度与目标介质温度的第一偏差温度，判断温控装置的工作模式；若工作模式为制冷模式，则判断外部负载功率；若为小功率负载，则使冷媒在蒸发器中吸收循环介质热量，并通过冷凝器将热量转移至外部冷却水源，若为大功率负载，则通过直接温控单元中的冷却水先对循环介质预降温至常温，再使冷媒在蒸发器中吸收循环介质热量，并通过冷凝器将热量转移至外部冷却水源，直至循环介质的实时介质温度降至目标介质温度。本方法对于制冷模式和制热模式以及不同功率下都有对应针对性的温控措施，优化能效。

本发明授权一种半导体领域多模式结合的温控装置的控制方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体领域多模式结合的温控装置的控制方法，其特征在于，基于多模式结合的温控装置实现，温控装置包括： 压缩机温控单元，所述压缩机温控单元包括压缩机1、冷凝器5和蒸发器17； 直接温控单元，所述直接温控单元包括冷却水换热器16，所述冷却水换热器16的入水口和出水口直接连接外部冷却水源； 介质循环单元，所述介质循环单元包括介质箱21，所述介质箱21与所述蒸发器17的介质出口连接，所述蒸发器17的介质入口与所述冷却水换热器16的介质出口连接： 该控制方法包括以下步骤： 实时获取循环介质的实时介质温度，并得到所述实时介质温度与目标介质温度的差值，该差值为第一偏差温度； 根据所述第一偏差温度，判断温控装置的工作模式； 若所述工作模式为制冷模式，则判断外部负载功率； 若所述外部负载功率为小功率负载，则启动所述压缩机温控单元并关闭所述直接温控单元，以使冷媒在所述蒸发器17中吸收循环介质热量，并通过所述冷凝器5将热量转移至外部冷却水源，直至循环介质的所述实时介质温度降至所述目标介质温度； 若所述外部负载功率为大功率负载，则启动所述压缩机温控单元和所述直接温控单元，以通过所述直接温控单元中的冷却水先对循环介质预降温至常温，再使冷媒在所述蒸发器17中吸收循环介质热量，并通过所述冷凝器5将热量转移至外部冷却水源，直至循环介质的所述实时介质温度降至所述目标介质温度。

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