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龙图腾网获悉苏州英谷激光科技股份有限公司申请的专利高重复频率深紫外脉冲激光器及其设计方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120749519B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511234087.3，技术领域涉及：H01S3/109；该发明授权高重复频率深紫外脉冲激光器及其设计方法是由赵艺;崔晓敏;于雷设计研发完成，并于2025-09-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本高重复频率深紫外脉冲激光器及其设计方法在说明书摘要公布了：本发明提供高重复频率深紫外脉冲激光器及其设计方法，所述激光器包括光纤种子源、多级固体放大器、第二声光调制器、第一倍频系统、预补偿系统、第二倍频系统、输出稳定调节系统。所述第二倍频系统中包含有第一BBO晶体、第二BBO晶体。预补偿系统包含在第一BBO晶体、第二BBO晶体前布置的球面镜组、柱面镜组。输出稳定调节系统用于对第一倍频系统、第二倍频系统进行精确控制温度以保持相位匹配条件。本发明获得的激光经过一系列滤光片及光束整形器件，输出稳定、单色性好的深紫外激光，适用于精密光刻、微加工及科学研究领域，确保了高效的激光转换效率和稳定的输出性能。

本发明授权高重复频率深紫外脉冲激光器及其设计方法在权利要求书中公布了：1.一种高重复频率深紫外脉冲激光器，其特征在于： 所述激光器包括光纤种子源、多级固体放大器、第二声光调制器、第一倍频系统、预补偿系统、第二倍频系统、输出稳定调节系统； 所述光纤种子源中，包含激光二极管、波分复用器、高反光栅、掺镱光纤、可饱和吸收体、第一声光调制器，激光二极管被驱动后发出连续泵浦光，经波分复用器、高反光栅进入掺镱光纤，掺镱光纤吸收泵浦光能量，由高反光栅、掺镱光纤、可饱和吸收体构成线性谐振腔产生1064nm的脉冲激光，经过第一声光调制器后再经过被半导体激光器泵浦的掺镱光纤放大，输出高重复频率的波长为1064nm的脉冲激光； 所述第二倍频系统中包含有第一BBO晶体、第二BBO晶体； 预补偿系统包含在第一BBO晶体、第二BBO晶体前布置的球面镜组、柱面镜组； 所述第二倍频系统、预补偿系统采用以下方式布置： 获得相位失配量与相位失配角δθx的关系，确定BBO晶体在e光振动面xoz平面内波矢kx与通光轴oz的偏折角为相位失配角δθx，并计算相位失配量Δkx，利用BBO晶体对特定波长的固有属性βθ对相位失配量Δkx化简，化简得到Δkx=βθδθx； 建立倍频效率与相位失配角的关系，当相位失配角引起的相位失配量使倍频效率降低到完全相位匹配的光-光转换效率50%时，即倍频接收角为倍频效率相对于相位失配角δθx的半高全宽，推导设定倍频效率下的倍频接收角关系； 结合BBO晶体特性计算BBO晶体的倍频接收角； 将长度相同的第一BBO晶体、第二BBO晶体呈旋转180°紧密贴合放置，经过第一BBO晶体中产生倍频光的走离角为ρ1，经过第二BBO晶体产生的走离角度为ρ2，其中ρ1和ρ2大小相等，方向相反； 根据特定晶体特性及两块BBO晶体组合后的长度所计算获得BBO晶体的倍频接收角来选定布置预补偿系统中的球面镜组、柱面镜组，使得经预补偿系统整形后获得发散角小于倍频接收角的激光； 输出稳定调节系统用于对第一倍频系统、第二倍频系统进行精确控制温度以保持相位匹配条件。

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