武汉衡惯科技发展有限公司黄晟获国家专利权
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龙图腾网获悉武汉衡惯科技发展有限公司申请的专利一种MEMS惯性器件及其制造工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120721071B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511196622.0，技术领域涉及：G01C21/16；该发明授权一种MEMS惯性器件及其制造工艺是由黄晟;蔡光艳;魏晓莉;蔡喜元;罗戴钟;丁铮;徐佳设计研发完成，并于2025-08-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种MEMS惯性器件及其制造工艺在说明书摘要公布了：本发明提供了一种MEMS惯性器件及其制造工艺，涉及惯性器件技术领域，该器件通过设置包括从下至上依次键合的硅基底、器件层、走线金属层以及上盖板，上盖板上侧设置有多个焊盘，上盖板上还开设有分别与多个焊盘对应的多个通孔，走线金属层通过多个通孔以与多个焊盘电连接。本发明使得金属走线层不走基底，而是走器件层上，从盖板中把信号引出，避免走基底导致的工艺流程复杂，能够降低MEMS惯性器件的工艺难度；并且，走线金属层在盖板和器件层之间，既可以作为焊料环来连接盖板和器件层，又可以用于信号连接，能够减小MEMS惯性器件的体积、降低MEMS惯性器件的成本。
本发明授权一种MEMS惯性器件及其制造工艺在权利要求书中公布了：1.一种MEMS惯性器件，其特征在于，包括从下至上依次键合的硅基底、器件层、走线金属层以及上盖板，所述上盖板上侧设置有多个焊盘，所述上盖板上还开设有分别与所述多个焊盘对应的多个通孔，所述走线金属层通过多个所述通孔以与多个所述焊盘电连接；所述走线金属层设置在所述上盖板下侧，所述上盖板下侧还设置有上盖板定梳齿锚柱，所述走线金属层环绕包围所述上盖板定梳齿锚柱，所述走线金属层覆盖外侧的多个所述通孔，所述上盖板定梳齿锚柱覆盖中心的所述通孔，所述器件层包括质量块，所述质量块与所述上盖板定梳齿锚柱键合。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人武汉衡惯科技发展有限公司，其通讯地址为：430206 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道999号武汉未来科技城龙山创新园一期B3栋10楼1131(自贸区武汉片区)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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