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龙图腾网获悉济南东星精密量仪有限公司申请的专利一种超精密气浮运动载台获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120704078B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511176567.9，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种超精密气浮运动载台是由周正东;周卫设计研发完成，并于2025-08-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种超精密气浮运动载台在说明书摘要公布了：本发明属于精密技术设备技术领域，涉及一种超精密气浮运动载台，包括花岗石基座，在所述花岗石基座上沿X方向间隔设置有两个Y向直线电机，所述Y向直线电机包括固定在花岗石基座上的Y向直线电机定子以及与Y向直线电机定子相配合的Y向直线电机动子；两个Y向直线电机动子分别固定连接有第一滑座，在两个所述第一滑座之间设置有X向组合梁，在X向组合梁上沿Y方向间隔设置有两个X向直线电机；本发明的超精密气浮运动载台，气浮底板在线性电机驱动下带动载物板在花岗石基座上移动，实现移动粗调节，载物滑块由滚珠丝杠直线驱动机构推动在气浮导轨上移动，实现载物板移动精调节，兼顾效率和精度，调节范围大，精度高。

本发明授权一种超精密气浮运动载台在权利要求书中公布了：1.一种超精密气浮运动载台，其特征在于：包括花岗石基座，在所述花岗石基座上沿X方向间隔设置有两个Y向直线电机，所述Y向直线电机包括固定在花岗石基座上的Y向直线电机定子以及与Y向直线电机定子相配合的Y向直线电机动子；两个Y向直线电机动子分别固定连接有第一滑座，在两个所述第一滑座之间设置有X向组合梁，在X向组合梁上沿Y方向间隔设置有两个X向直线电机；所述X向直线电机包括相互配合的X向直线电机定子和X向直线电机动子，两个X向直线电机定子固定在X向组合梁上，两个X向直线电机动子分别固定连接有第二滑座，两个所述第二滑座之间固定连接有第一安装板和第二安装板，在第一安装板和第二安装板上固定连接有气浮移动载台； 所述气浮移动载台包括轨道基座，所述轨道基座包括相对的两条气浮导轨，每条所述气浮导轨上都滑动配合有载物滑块，在两条气浮导轨之间设置有滚珠丝杠直线驱动机构，所述滚珠丝杠直线驱动机构包括伺服电机、丝杆螺母，以及丝杆尾部轴承，所述伺服电机固定在第一安装板上，所述丝杆尾部轴承与第二安装板固定连接，所述丝杆螺母上部固定连接有载物板，所述载物板的两端分别固定连接两个气浮导轨上的载物滑块； 所述轨道基座的下表面安装有气浮底板，在气浮底板几何边缘的四个角上对称的设置有四个气浮孔，每个所述气浮孔独立连通设置在气浮底板内部的正压气道，每个所述正压气道的进口通过螺纹安装有一个正压专用组合接头，所述正压专用组合接头的另一端连通空压机；在气浮底板的几何中心处设置有真空孔，所述真空孔连通设置在气浮底板内部的真空气道，所述真空气道的进口通过螺纹安装有一个负压专用组合接头，所述负压专用组合接头的另一端连通真空泵；在正压专用组合接头和负压专用组合接头的内部安装有第一气压传感器，所述第一气压传感器电连接有控制器，所述控制器分别电连接空压机、真空泵、设置在正压专用组合接头与空压机之间的第一调节阀组件，以及设置在负压专用组合接头与真空泵之间的第二调节阀组件。

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