买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉中国科学院上海光学精密机械研究所申请的专利气压调控的膜介质修形超光滑加工装置及加工方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120680385B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510753589.0，技术领域涉及：B24B13/00；该发明授权气压调控的膜介质修形超光滑加工装置及加工方法是由陈军;魏朝阳;邵建达;王林;胡晨设计研发完成，并于2025-06-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本气压调控的膜介质修形超光滑加工装置及加工方法在说明书摘要公布了：一种气压调控的膜介质修形和超光滑加工装置及方法，加工装置的下驱动模块自下而上包括：平台驱动电机、抛光平台、气动吸盘、膜介质，气动吸盘的辅助装置包括真空发生器、过滤器、气体流量计和换向阀。加工装置的上驱动模块自上而下包括：驱动电机、基座、缓冲介质和待抛光元件。本发明具有成本低、操作简单的特点，基于膜介质对元件接触压强的调控分布和膜介质催化反应，在特定参数下完成元件进行修形抛光和超光滑处理，且不引起表面损伤，最终得到无损伤超光滑的光学元件。

本发明授权气压调控的膜介质修形超光滑加工装置及加工方法在权利要求书中公布了：1.一种气压调控的膜介质修形和超光滑加工装置，其特征在于，包括下驱动模块、上驱动模块、辅助装置和抛光溶液供给系统，其中， 所述下驱动模块，自下而上依次包括： 平台驱动电机11，其输出轴通过联轴器与抛光平台1中心刚性连接； 抛光平台1，上表面通过螺栓固定连接气动吸盘2； 气动吸盘2，为环形盘体，上表面设有多个同心圆环分区，每个分区环带内均匀分布多个微孔21，各分区通过独立气管连接辅助装置，所述气动吸盘表面按照半径划分设置有n个分区，n取3~10，每个分区的半径依次表示为Rii=1,…,n，每个分区的环带内设置有微孔，微孔的直径范围为100μm~1mm,每个分区中微孔的数量不超过Ri2-Ri-122,i=2,…,n； 膜介质3，通过负压吸附平整贴合于所述气动吸盘2上表面；所述膜介质为贴合于气动吸盘表面的一层金属片箔，金属为VIIB、VIII和IB族过渡金属，且纯度不低于99.9%，所述膜介质的厚度为0.01~0.05mm； 所述上驱动模块，自上而下依次包括： 基座驱动电机61，其输出轴通过法兰与基座6顶部中心同轴连接； 基座6，圆柱体，底部通过胶粘固定连接缓冲介质5； 缓冲介质5，其下表面通过真空吸附或粘结固定待抛光元件4； 所述辅助装置，包括： 真空发生器，通过主气管连接所述气动吸盘2的进气总管； 气体流量计，设置于各分区支路气管上，用于控制气压； 换向阀，设置于各分区支路气管末端，用于切换吸气或吹气模式； 所述抛光溶液供给系统，其滴液喷嘴位于所述膜介质3与待抛光元件4接触界面上方； 其中，通过所述辅助装置调节气动吸盘2各分区的气压与气流方向，使膜介质形变量δ与元件面形误差共轭匹配，膜介质的形变量δ的公式如下： 其中，ΔP为膜介质两侧的压力差，R为微孔半径，E为膜介质材料的弹性模量，ν为膜介质材料的泊松比，D为膜介质的弯曲刚度。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院上海光学精密机械研究所，其通讯地址为：201800 上海市嘉定区清河路390号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。