山西第三代半导体技术创新中心有限公司王毅获国家专利权
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龙图腾网获悉山西第三代半导体技术创新中心有限公司申请的专利一种自平衡式大尺寸碳化硅坩埚旋转提升机构获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120553610B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511063496.1,技术领域涉及:B66F11/00;该发明授权一种自平衡式大尺寸碳化硅坩埚旋转提升机构是由王毅;郭帝江;靳丽岩;武昕彤;王宏杰设计研发完成,并于2025-07-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种自平衡式大尺寸碳化硅坩埚旋转提升机构在说明书摘要公布了:本发明公开了一种自平衡式大尺寸碳化硅坩埚旋转提升机构,具体涉及坩埚提升技术领域,包括两个提升压槽板、控制器、同步电缸以及双拐同步平衡提升组件;其中双拐同步平衡提升组件包括压力传感器、弧形条、多个碳纤维上绳、倾斜套块、上拐角块、斜柱以及倾斜槽板。本发明采用双拐同步平衡提升组件,具有对大尺寸坩埚外壁底部多个点位和内壁顶端多个点位,实现圆弧周部上、下同步定力自平衡受力,同步受力均匀稳定,提升效果优异的优点,从而解决了难以对内壁顶部及外壁底部的这些多个点位实现同步且均匀的自平衡受力提升,导致大尺寸碳化硅坩埚在提升过程中的稳定性较差的问题。
本发明授权一种自平衡式大尺寸碳化硅坩埚旋转提升机构在权利要求书中公布了:1.一种自平衡式大尺寸碳化硅坩埚旋转提升机构,包括两个提升压槽板1和控制器26,每个所述提升压槽板1的内壁均固定安装有同步电缸2,其特征在于:所述同步电缸2的输出端设有双拐同步平衡提升组件; 所述双拐同步平衡提升组件包括固定设置在同步电缸2输出端的压力传感器3,所述压力传感器3的下表面固定连接有弧形条4,所述弧形条4上固定连接有多个碳纤维上绳5; 每个所述碳纤维上绳5的顶端均固定连接有倾斜套块6,所述倾斜套块6的下倾斜面固定连接有上拐角块7,所述倾斜套块6的内壁滑动连接有斜柱8,所述斜柱8的顶端固定连接有倾斜槽板10,所述碳纤维上绳5的上方设有挤压弹片倾斜槽板9,所述倾斜套块6和倾斜槽板10均与挤压弹片倾斜槽板9之间固定连接; 所述弧形条4的上表面边缘位置处固定连接有多个碳纤维下绳12,所述提升压槽板1与碳纤维下绳12之间滑动连接; 所述碳纤维下绳12的外壁滑动连接有套接滑块13,且所述套接滑块13与提升压槽板1之间固定连接,所述碳纤维下绳12的底端固定连接有滑动套14,且弧形条4下移时碳纤维下绳12的底端带动滑动套14倾斜上移,所述滑动套14的内壁滑动连接有导向斜杆15,所述滑动套14的外壁滑动连接有槽斜框16,且所述导向斜杆15与槽斜框16之间固定连接,所述滑动套14的上倾斜面固定连接有下拐角块17; 两个所述提升压槽板1之间设有大尺寸坩埚18。
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