苏州合投光电科技有限公司李龙获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州合投光电科技有限公司申请的专利一种真空镀膜机电子枪控制方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120311158B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510734063.8，技术领域涉及：C23C14/54；该发明授权一种真空镀膜机电子枪控制方法及系统是由李龙;吴海平;徐宇晴设计研发完成，并于2025-06-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种真空镀膜机电子枪控制方法及系统在说明书摘要公布了：本发明属于真空镀膜技术领域，具体的说是一种真空镀膜机电子枪控制方法及系统，该控制方法包括在镀膜过程中，持续采集并融合处理反映电子枪工作状态及蒸发过程的关键实时参数，基于关键实时参数，实时评估当前镀膜状态，并结合预设的镀膜工艺要求，通过内置的决策机制动态生成下一控制周期的电子束控制目标指令集，发送至电子枪的功率控制器、聚焦线圈控制器和扫描线圈控制器，驱动电子枪实时调整其功率输出、聚焦状态和扫描运动，通过蒸发速率的精准稳定控制：通过功率与蒸发速率的强闭环，有效应对物料特性变化；动态规划的扫描路径能主动补偿坩埚热场不均匀性，结合聚焦调节优化束斑能量分布，使得热场均匀性的显著提升。
本发明授权一种真空镀膜机电子枪控制方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种真空镀膜机电子枪控制方法，其特征在于：包括以下步骤： A1、在镀膜过程中，持续采集并融合处理反映电子枪工作状态及蒸发过程的关键实时参数，所述关键实时参数至少包括电子束斑作用区域的实时温度分布以及实时蒸发速率； A2、基于关键实时参数，实时评估当前镀膜状态，并结合预设的镀膜工艺要求，通过内置的决策机制动态生成下一控制周期的电子束控制目标指令集，所述指令集包括：功率目标值，聚焦状态目标值以及扫描路径目标轨迹；其中，所述扫描路径目标轨迹依据当前感知到的坩埚表面温度分布和物料状态动态规划生成，用于优化热场均匀性、蒸发稳定性和抑制喷溅； A3、将生成的所述功率目标值、聚焦状态目标值和扫描路径目标轨迹指令，同步发送至电子枪的功率控制器、聚焦线圈控制器和扫描线圈控制器，驱动电子枪实时调整其功率输出、聚焦状态和扫描运动。
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