璞璘科技(杭州)有限公司邓萌萌获国家专利权
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龙图腾网获悉璞璘科技(杭州)有限公司申请的专利一种弹性体压印头的制备装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120085514B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510512849.5，技术领域涉及：G03F7/00；该发明授权一种弹性体压印头的制备装置及方法是由邓萌萌设计研发完成，并于2025-04-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种弹性体压印头的制备装置及方法在说明书摘要公布了：本发明涉及纳米压印技术领域，具体是一种弹性体压印头的制备装置及方法，包括底座、硅片、硅胶垫、金属定位片、石英片及顶盖；通过真空调节硅片凸起形成压印头中心凸面，结合紫外固化工艺制备具有特定曲率的弹性体压印头。该压印头在压印时从中心向边缘贴合以排出气泡，脱模时边缘优先分离以降低脱模力，适配半导体步进式工艺，良品率提升至98％以上。本发明的技术优势是可以与步进压印制造工艺相兼容，特殊的接触和脱模方式可以有效减少压印结构中的瑕疵，提高良品率。
本发明授权一种弹性体压印头的制备装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种弹性体压印头的制备装置，其特征在于，包括底座1、硅片2、硅胶垫3、金属定位片4、石英片5及顶盖6；底座1采用金属材质，侧壁开设有气孔接口101，用于连接真空泵，中心处开设有圆柱形通孔102，圆柱形通孔102周围对应的底座1上开设有直径大于圆柱形通孔102的凹槽103，凹槽103内适配式固定有硅片2，且凹槽103内壁设有环形气道，通过连接的真空泵抽气至真空使硅片2凸起，气孔接口101连接真空泵的同时还连接设置有真空比例阀，通过控制所述真空泵及所述真空比例阀按-10kPa～-100kPa的真空度范围抽气，来控制硅片2凸起的高度； 所述硅胶垫3中心设有方形开孔以与硅片2接触形成弹性支撑，同时限定弹性体浇筑范围； 所述金属定位片4中心设有大于硅胶垫3开孔的方形开孔，以与石英片5定位配合形成浇筑腔； 所述顶盖6在中心处采用阶梯式通孔设计，下孔适配石英片5并且下孔与上孔径比为1:1.2～1:1.5，上孔扩大以容纳固化时的弹性体，且顶盖6通过螺丝与底座1固定。
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