买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉中国科学院兰州化学物理研究所申请的专利一种氟醚橡胶表面Ti/Cr/Cu共掺杂复合氮化物薄膜的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120082842B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510356966.7，技术领域涉及：C23C14/06；该发明授权一种氟醚橡胶表面Ti/Cr/Cu共掺杂复合氮化物薄膜的制备方法是由张斌;李伟业;杨攀峰;张俊彦设计研发完成，并于2025-03-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种氟醚橡胶表面Ti/Cr/Cu共掺杂复合氮化物薄膜的制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种氟醚橡胶表面TiCrCu共掺杂复合氮化物薄膜的制备方法，先将氟醚橡胶基材清洗吹干后放入磁控溅射腔体，抽至高真空条件下后通入Ar气体清洗基底；再采用阴极电弧磁过滤技术得到改性的TiCrCu共掺杂复合氮化物薄膜。获得的TiCrCu共掺杂复合氮化物薄膜明显提高摩擦性能，同时保持了薄膜自身的致密度和硬度；阴极电弧磁过滤技术使掺杂元素均匀弥散在薄膜内部，保证少量掺杂元素便能够获得薄膜性能提升，提升了薄膜的摩擦学性能。

本发明授权一种氟醚橡胶表面Ti/Cr/Cu共掺杂复合氮化物薄膜的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种氟醚橡胶表面TiCrCu共掺杂复合氮化物薄膜的制备方法，其特征在于，该复合氮化物薄膜包括沉积在氟醚橡胶表面的Cr金属承载层、CrN中间过渡层以及TiCrCu金属氮化物表面减摩层，制备步骤如下： 1先将氟醚橡胶基材用酒精超声清洗10~20min以去除表面污染物，吹干后放于真空室内样品架上；抽真空至压强小于5×10-3Pa后通入高纯氩气，控制真空室内压强为0.3~0.5Pa，调节偏压电源至-500~-800V，对基材表面进行偏压清洗以去除基材表面杂质，处理时长10~15min； 2先开启Cr靶，调整Cr电弧靶电流80~100A，电压20~25V，通入氩气流量为150~250sccm，保持气压维持在0.40~0.45pa，偏压控制在700±50V，占空比60~70%，注入时间20~40min； 3沉积Cr金属层：调节Cr电弧靶电流为150~170A、电压30~35V，通入氩气的流量为100~120sccm，气压为0.28~0.30pa，沉积偏压控制在70~80V，占空比60~70%，沉积时间20~40min； 4沉积CrN层：在步骤3的基础上，通入氮气流量为100~120sccm，氩气流量保持不变，气压维持在0.35~0.40pa，继续沉积时间45~60min； 5沉积多层金属氮化物层：开启Ti靶，控制CrTi电流比和电压比为1：1，保持氮气和氩气流量不变，偏压控制在70~80V，占空比60~70%；开启中心柱靶Cu靶，控制电流为1~2A，电压250~260V，占空比为60~70%，沉积时间45~60min。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院兰州化学物理研究所，其通讯地址为：730000 甘肃省兰州市城关区天水中路18号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。