华天慧创科技(西安)有限公司王骄获国家专利权
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龙图腾网获悉华天慧创科技(西安)有限公司申请的专利一种光学模组及其制备方法和应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120044748B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510190009.1,技术领域涉及:G03F7/00;该发明授权一种光学模组及其制备方法和应用是由王骄;刘守航;魏敏;周建锋;候洋昆;袁万利;王晓锋设计研发完成,并于2025-02-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光学模组及其制备方法和应用在说明书摘要公布了:本发明属于眼动追踪技术领域,具体涉及一种光学模组及其制备方法和应用。本发明提供的制备方法采用纳米压印技术结合冷镀工艺,先压印后镀膜,在晶圆级光学玻璃表面使用胶水压印单面面型,最后使用键合胶将各面型堆叠,然后采用冷镀工艺在产品表面镀可见光截止膜。本发明提供的制备方法有效避免镀膜过程中胶水受热改变镜头lens面型,解决先压印后镀膜玻璃翘曲,压印对位无法测量,切割不易抓边等问题。本发明制备得到的微型眼动追踪和虹膜识别共用的光学模组具有体积小、成本低、生产效率高、性能一致性好的优点。
本发明授权一种光学模组及其制备方法和应用在权利要求书中公布了:1.一种光学模组的制备方法,其特征在于,包括以下步骤: 由金属模具制备子模,所述金属模具包括第一金属模具、第二金属模具、第三金属模具和第四金属模具,所述第一金属模具、第二金属模具、第三金属模具和第四金属模具具有不同形状的镜头结构图案,所述子模包括具有与第一金属模具相反图案的第一子模、具有与第二金属模具相反图案的第二子模、具有与第三金属模具相反图案的第三子模和具有与第四金属模具相反图案的第四子模; 在第一晶圆、第二晶圆、第三晶圆和第四晶圆的一表面布设压印胶水,分别采用第一子模、第二子模、第三子模和第四子模进行压印,分别得到第一晶圆面型产品、第二晶圆面型产品、第三晶圆面型产品和第四晶圆面型产品;所述第一晶圆和第三晶圆的另一表面具有光刻胶图案,所述第一晶圆的另一表面具有的光刻胶图案与第一子模的图案阵列排布间距相同,所述第三晶圆的另一表面具有的光刻胶图案与第三子模的图案阵列排布间距相同; 将第一晶圆面型产品的压印面、第二晶圆面型产品的压印面、第三晶圆面型产品的压印面、第四晶圆面型产品的压印面和第五晶圆采用键合胶进行键合,得到压印后产品; 采用冷镀的方法在所述压印后产品中第五晶圆的另一表面镀可见光截止膜,得到镀膜后产品,所述冷镀的温度30℃,所述冷镀的蒸发源包括Ti3O5和SiO2,所述冷镀过程中基体不加热,所述冷镀的时间为6~7h; 将所述镀膜后产品进行镀膜后处理,得到所述光学模组。
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