北京智芯微电子科技有限公司余山获国家专利权
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龙图腾网获悉北京智芯微电子科技有限公司申请的专利LDMOSFET结构的ESD器件及制造方法、芯片获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120035177B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510341309.5,技术领域涉及:H10D30/65;该发明授权LDMOSFET结构的ESD器件及制造方法、芯片是由余山;陈燕宁;刘芳;吴波;邓永峰;沈美根;李君建设计研发完成,并于2025-03-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本LDMOSFET结构的ESD器件及制造方法、芯片在说明书摘要公布了:本发明涉及半导体技术领域,提供一种LDMOSFET结构的ESD器件及制造方法、芯片。该器件包括:衬底、体区、漂移区、源区、漏区及栅极结构,体区形成于漂移区的上表面,栅极结构形成于体区内;源区连接源极金属层,漏区连接漏极金属层;栅极结构包括栅氧化层、多晶硅栅极及多晶硅电阻,多晶硅栅极及多晶硅电阻通过栅氧化层与体区连接;多晶硅电阻与源极金属层连接,体区与源极金属层连接;多晶硅栅极通过隔离氧化层与漏极金属层相接,多晶硅栅极、隔离氧化层及漏极金属层构成电容结构。本发明为等效于RC型ESD保护电路的高压ESD器件,无需在MOS器件外部增加电阻和电容,缩小了器件的面积,提高了器件的高压保护能力。
本发明授权LDMOSFET结构的ESD器件及制造方法、芯片在权利要求书中公布了:1.一种LDMOSFET结构的ESD器件,包括:衬底、体区、漂移区、源区、漏区及栅极结构,其特征在于,所述漂移区形成于所述衬底的表面,所述体区形成于所述漂移区的上表面,所述源区形成于所述体区的上表面,所述漏区形成于所述漂移区的下表面,所述栅极结构形成于所述体区内; 所述源区连接源极金属层,所述源极金属层接地; 所述漏区连接漏极金属层,所述漏极金属层作为输入端; 所述栅极结构包括栅氧化层、多晶硅栅极及多晶硅电阻,所述多晶硅栅极及多晶硅电阻通过所述栅氧化层与所述体区连接; 所述多晶硅电阻与所述源极金属层连接,所述体区与所述源极金属层连接; 所述多晶硅栅极通过隔离氧化层与所述漏极金属层相接,所述多晶硅栅极、隔离氧化层及漏极金属层构成电容结构。
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