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龙图腾网获悉中山大学申请的专利一种掺氟金属氧化物薄膜及其制备方法与应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119615109B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411738997.0，技术领域涉及：C23C16/40；该发明授权一种掺氟金属氧化物薄膜及其制备方法与应用是由林豪;崔志洋;高平奇设计研发完成，并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种掺氟金属氧化物薄膜及其制备方法与应用在说明书摘要公布了：本发明涉及一种掺氟金属氧化物薄膜及其制备方法与应用，属于材料技术领域。本发明将清洗后的衬底及金属丝分别固定于热丝化学气相沉积CVD装置的腔室内，在所述腔室内金属丝位于所述衬底的下方，将所述腔室抽真空后，将所述金属丝进行通电预热；将预热后的金属丝继续通电加热，同时向所述腔室内持续通入混合气体，在所述衬底表面沉积一层掺氟金属氧化物薄膜，所述混合气体包括含氟气体和氧气。本发明方法可以在不影响材料原有低温性能的同时又极大提高氟掺杂的安全可行性。

本发明授权一种掺氟金属氧化物薄膜及其制备方法与应用在权利要求书中公布了：1.一种掺氟金属氧化物薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤： S1、将衬底进行清洗； S2、将清洗后的衬底及金属丝分别固定于热丝CVD装置的腔室内，在所述腔室内金属丝位于所述衬底的下方，将所述腔室抽真空后，将所述金属丝进行通电预热； S3、将预热后的金属丝继续通电加热，在金属丝通电加热过程中通入混合气体，所述混合气体包括含氟气体和氧气，所述混合气体的通入流量为20~300sccm，混合气体中的氧气与金属丝发生氧化还原反应，生成金属氧化物，混合气体中的含氟体在高温下发生裂解反应，释放氟，释放的氟掺入到生成的金属氧化物中，并随氧化物一起升华沉积到衬底上，形成一层掺氟金属氧化物薄膜； 在步骤S2中，所述金属丝包括钨丝、钼丝、钽丝中的任意一种； 在步骤S2中，所述腔室在抽真空后的气压不大于0.1Pa，所述金属丝在通电预热后的温度为900~1000℃； 在步骤S3中，所述含氟气体包括四氟化碳、三氟甲烷、四氟乙烷中的至少一种； 在步骤S3中，所述通电加热包括：将预热后的金属丝在5~20min内升温至1000~1500℃后进行保温； 在步骤S3中，所述腔室的气压为10~20Pa；所述氧气的分压为P1，所述含氟气体的分压为P2，所述混合气体的总压为P，P1、P2和P满足如下条件： 10.4≤P1P≤0.7；20.1≤P2P≤0.4；30.5≤P1+P2P≤1。

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