北京空间机电研究所刘威剑获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
龙图腾网获悉北京空间机电研究所申请的专利一种基于模型计算的红外材料光学均匀性检测方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119510353B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411503922.4,技术领域涉及:G01N21/45;该发明授权一种基于模型计算的红外材料光学均匀性检测方法是由刘威剑;黄阳;吕玮东;赵英龙;张生杰;王聪;牛锦川;宋俊儒;刘志远;金忠瑞;马静设计研发完成,并于2024-10-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于模型计算的红外材料光学均匀性检测方法在说明书摘要公布了:本发明公开一种基于模型计算的红外材料光学均匀性检测方法。利用球面干涉仪搭建斜入射平板样品表面的面形检测光路,调整球面反射镜使得干涉条纹稀疏;再将样品翻转180°,对平板样品的另一个表面面形进行测量;利用球面干涉仪搭建正入射平板样品表面的光学均匀性检测光路,调整球面反射镜使得干涉条纹稀疏;将平板样品移出干涉光路,测得干涉仪与球面反射镜的空腔测量结果;建立球面干涉仪正入射平板样品的光线追迹模型,将平板样品光学均匀性用多项式进行表征,多项式系数以及平板样品到干涉仪的距离作为迭代计算的变量,球面干涉仪正入射平板样品测量得到的波前数据作为迭代计算的目标值,迭代计算得到平板样品光学均匀性的数学表达式。
本发明授权一种基于模型计算的红外材料光学均匀性检测方法在权利要求书中公布了:1.一种基于模型计算的红外材料光学均匀性检测方法,其特征在于,包括: 搭建均匀性检测平台进行检测,包括对平板样品进行材料前后表面面形检测、透射波前检测,并进行干涉空腔检测; 采用Zemax软件,建立检测平板样品透射波前的光线追迹模型,并根据均匀性检测结果进行仿真; 根据干涉空腔检测结果和光线追迹模型仿真结果,对平板样品的材料光学均匀性分布H进行迭代求解; 所述均匀性检测平台包括球面波干涉仪、平板样品、标准球面反射镜; 在平板样品表面面形斜入射检测光路中,球面波干涉仪发射的光经平板样品的表面反射后射入标准球面反射镜,经标准球面反射镜反射后再射入平板样品的表面,并返回至球面波干涉仪; 在干涉空腔的检测光路中,反射镜的球心与干涉仪的焦点相重合; 在平板样品的透射波前检测光路中,球面波干涉仪发射的光穿过平板样品射入标准球面反射镜,经标准球面反射镜反射后再次穿过平板样品,并返回至球面波干涉仪; 所述均匀性检测包括: 将平板样品表面的法线方向与球面波干涉仪的光轴方向成θ角放置,标准球面反射镜的球心与干涉仪的焦点相重合;先对平板样品的前表面A进行面形检测,获得测量结果W1;再将平板样品翻转180°,对其后表面B进行面形检测,获得测量结果W2; 移出平板样品,搭建干涉空腔的检测光路;将标准球面反射镜的球心与干涉仪的焦点相重合,进行干涉空腔检测,获得测量结果W3; 将平板样品置于检测光路中,搭建平板样品的透射波前检测光路,对平板样品的透射波前进行测量,获得测量结果Wt 在光线追迹模型中,平板样品的前表面面形数据WA为: 在光线追迹模型中,平板样品的后表面面形数据WB为: 其中,d表示平板样品被测表面到干涉仪焦点的距离,θ表示平板样品x和y表示测量结果的归一化坐标; 将平板样品的材料光学均匀性分布H用Zernike多项式表征为其中Zix,y表示第i项Zernike多项式,Ai表示Zernike多项式的各项系数; 对平板样品的材料光学均匀性分布H进行迭代求解,包括: 根据平板样品的材料光学均匀性分布由Zemax中的光线追迹模型计算得到光路下平板样品透射波前为Wm,通过改变的多项式系数Ai,以改变光线追迹模型结果Wm,当光线追迹模型结果Wm与平板样品的透射波前检测结果Wt的差值满足小于设定值ε时,结束循环迭代; 采用并行梯度下降算法,同时对各项系数进行迭代优化;Ai迭代过程满足: An+1n+1,i=Ann,i-α·δJ·δA δJ=STDWmAn+δA-Wt-STDWmAn-δA-Wt α为迭代系数;δA为Ai系数的随机变量,为0~1的随机数;STD表示对波前数据求均方根值。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人北京空间机电研究所,其通讯地址为:100094 北京市海淀区友谊路104号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议,有机会获取IP积分或其他奖励