中国空间技术研究院于翔天获国家专利权
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龙图腾网获悉中国空间技术研究院申请的专利一种用于金属细丝、薄带或镀层的显微组织试验方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119470528B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411656787.7,技术领域涉及:G01N23/2255;该发明授权一种用于金属细丝、薄带或镀层的显微组织试验方法是由于翔天;牛虎;何端鹏;汪洋;汪贤兴;白志洋;李跃;虞欣子;吴冰;李岩设计研发完成,并于2024-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于金属细丝、薄带或镀层的显微组织试验方法在说明书摘要公布了:本发明公开一种用于金属细丝、薄带或镀层的显微组织试验方法,应用在材料理化检测技术领域。该方法使用经电磁透镜聚焦并经特定强度电场加速后具有特定束流强度的离子束以特定的扫描速度和扫描次数对样品测试面进行连续扫描,离子束对样品测试面表层纳米级厚度的原子产生剥离作用的同时激发二次电子信号,利用剥离作用及二次电子信号激发强度均受多晶金属材料不同晶面取向影响的特性获得包含晶体取向信息衬度图像的原理,进而获得样品测试面的显微组织信息。可以直观、快速、准确的获得传统金相腐蚀方法不易获取的金属细丝、薄带及镀层的显微组织信息,解决微电子领域常用的键合丝、连接片、镀层等显微组织的检测难题,填补试验方法的空白。
本发明授权一种用于金属细丝、薄带或镀层的显微组织试验方法在权利要求书中公布了:1.一种用于金属细丝、薄带或镀层的显微组织试验方法,其特征在于,包括: 将样品置于真空舱室内,调整测试面位置使之与离子束入射方向垂直,调整测试面与离子束发生装置的距离使离子束能够聚焦在测试面; 设置离子束加速电压,第一放大倍数、第一束流;设置第一扫描速度连续扫描,对焦并调整对比度和亮度至图像清晰; 定位至测试面的待观察区域附近,以第一放大倍数和第一束流为基础,将第一束流至第二束流,第二束流满足,在预期放大倍数下,经调焦并调整对比度和亮度后N次以内的扫描后可获得晶粒取向的图像衬度,其中第一放大倍数小于预期放大倍数; 设置第一放大倍数和第一束流,对焦并调整对比度和亮度至图像清晰,定位至待观察区域,放大至预期放大倍数,屏蔽束流并暂停扫描; 设置离子束加速电压、第二束流、第一扫描速度、对比度和亮度,解除束流屏蔽并开启扫描,图像扫描完成N次扫描后设置扫描速度为第二扫描速度,再执行M次扫描以获得清晰图像,其中NM,第二扫描速度慢于第一扫描速度。
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