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龙图腾网获悉西安交通大学申请的专利一种回流定量的组合气氛退火装置和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119384203B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411469937.3，技术领域涉及：H10K71/40；该发明授权一种回流定量的组合气氛退火装置和方法是由苏进展;杨升设计研发完成，并于2024-10-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种回流定量的组合气氛退火装置和方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种回流定量的组合气氛退火装置和方法，属于薄膜材料制备技术领域。该装置能够在气体中注入有机蒸汽加湿器注入有机气体，在气体混合器中和原气体混合，获得满足设定条件混合气体；混合气体通过气体喷枪朝向薄膜支撑平台吹出，同时加热器对薄膜支撑平台加热；该系统中线性吹扫与线性退火联动，薄膜被吹扫与被加热的区域始终是一致的，使得有机气氛被充分利用。该装置，避免了因掺杂气氛不定量、气氛扩散不均匀而导致可重复性差的问题，整套系统的工作环境为室压常温，避免了高压有机气瓶的气氛泄露问题，降低了实验安全风险。

本发明授权一种回流定量的组合气氛退火装置和方法在权利要求书中公布了：1.一种回流定量的组合气氛退火装置，其特征在于，包括气瓶1，气瓶1的气体输出管路分为第一类气体管路2和第二类气体管路3，第一类气体管路2连接有气体混合器4，第二类气体管路3经过有机蒸汽加湿器27后连通至气体混合器4，气体混合器4的出口连通有气氛仓15； 所述气氛仓15中设置有薄膜支撑平台18，气氛仓15在薄膜支撑平台18的两侧分别开设有第二进气口19和出气口25；所述薄膜支撑平台18上设置有气体喷枪21，所述气体喷枪21的上端连通有气体导管22，薄膜支撑平台18的下端设置有加热器24；所述气体导管22和加热器24均和气氛仓15滑动连接； 所述气体导管22的入口和气体混合器4的出口连通，所述气体喷枪21的出风部分28两侧设置有两个弧面，靠近第二进气口19的弧面弧度小于靠近出气口25的弧面弧度，两个弧面的圆心在靠近出气口25侧，两个弧面的下端形成出风口28； 所述气体喷枪21的出口和加热器24的内端在同一个竖向平面； 所述第二进气口19和气瓶1连通； 所述第二进气口19的下端和薄膜支撑平台18的上表面在同一平面； 所述气体喷枪21为板状结构，所述气体喷枪21的下端出风口朝向出气口25方向倾斜； 气氛仓15中设置有导轨20，导轨20和气体导管22滑动连接；加热器24通过螺杆结构17和气氛仓15滑动连接。

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