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龙图腾网获悉西安理工大学申请的专利纯钛溅射靶的表面处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119328426B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411354980.5，技术领域涉及：B23P15/00；该发明授权纯钛溅射靶的表面处理方法是由赵嘉庆;邓海宁;冯硕;张泽豪;赵娜娜设计研发完成，并于2024-09-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本纯钛溅射靶的表面处理方法在说明书摘要公布了：本发明公开的纯钛溅射靶的表面处理方法，处理方法包括依次进行的初步处理、车削处理、砂纸处理、帆布处理和绒布处理；初步处理为对纯钛靶材依次进行除油、清洗、干燥处理；车削处理为对初步处理后的纯钛靶材进行车削；砂纸处理包括依次进行的600#砂纸处理和800#砂纸处理；帆布处理为通过不同粒度的研磨膏对纯钛靶材进行帆布处理；绒布处理为在抛光盘上采用绒布进行抛光，并在抛光过程中添加二氧化硅抛光液。本发明的纯钛溅射靶的表面处理方法，解决了现有表面处理技术容易形成变形层且产生变形孪晶，导致溅射靶表面粗糙度极值差较大的问题。

本发明授权纯钛溅射靶的表面处理方法在权利要求书中公布了：1.纯钛溅射靶的表面处理方法，其特征在于，所述处理方法包括依次进行的初步处理、车削处理、砂纸处理、帆布处理和绒布处理； 所述初步处理为对纯钛靶材依次进行除油、清洗、干燥处理； 所述车削处理为对初步处理后的纯钛靶材进行车削； 所述砂纸处理包括依次进行的600#砂纸处理和800#砂纸处理； 所述帆布处理为通过不同粒度的研磨膏对纯钛靶材进行帆布处理； 所述绒布处理为在抛光盘上采用绒布进行抛光，并在抛光过程中添加二氧化硅抛光液； 所述初步处理的具体过程为：将纯钛靶材置于NaOH溶液中清洗5min-15min，然后再用盐酸溶液清洗5min-15min，最后将纯钛靶材置于盛有无水乙醇的烧杯中，用超声波振动仪清洗2min-5min后干燥； 所述车削处理的参数为：进给量0.1mmr-0.2mmr、车削速度50mmin-150mmin、车削深度0.2mm-0.4mm；所述车削处理后靶材表面粗糙度为0.5μm-1.2μm； 所述砂纸处理的总时间为10min-20min，所述600#砂纸处理的时间为3min-7min，所述800#砂纸处理的时间为7min-13min； 所述帆布处理的总时间为7min-12min，所述帆布处理的具体过程为： 第一步、在抛光盘上采用帆布进行抛光，抛光过程中添加金刚石研磨膏W7，时间4min-6min； 第二步、在抛光盘上采用帆布进行抛光，抛光过程中添加金刚石研磨膏W2.5，时间2min-4min； 第三步、在抛光盘上采用帆布进行抛光，抛光过程中添加金刚石研磨膏W1，时间1min-2min； 所述绒布处理的参数为：抛光盘转速为250rmin-600rmin、二氧化硅抛光液的粒度为0.05μm-0.15μm、处理时间为2min-8min。

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