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龙图腾网获悉中国科学院重庆绿色智能技术研究院;重庆大学申请的专利一种红外探测器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119170686B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411278933.7，技术领域涉及：H10F30/227；该发明授权一种红外探测器及其制备方法是由陈惠;邵丽;汤林龙;魏兴战;聂长斌;张之胜;杨旗;史浩飞设计研发完成，并于2024-09-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种红外探测器及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明涉及光电探测技术领域，公开一种红外探测器及其制备方法，包括衬底，金属敏感膜、光吸收增强结构以及电流传输结构；所述光吸收增强结构包括肖特基结，所述肖特基结通过在硅基底蚀刻出的阵列化图案，阵列图案中灌满金属，硅基底与金属接触形成肖特基结，且肖特基界面进行粗糙化处理以增强热电子吸收；所述电流传输结构包括硅基底、P型导电结构、N型导电结构和介质材料，所述光吸收增强结构生产的电流分别从P型和N型导电结构导出。本发明通过将肖特基界面进行粗糙化处理以增强热电子吸收，采用背照式入射方法，缩短热电子传输自由程，用以提升探测器量子效率。

本发明授权一种红外探测器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种红外探测器，其特征在于，包括衬底，金属敏感膜、光吸收增强结构以及电流传输结构； 所述金属敏感膜界面进行粗糙化处理，刻蚀无序纳米孔陷光结构或者在硅衬底界面上沉积纳米颗粒，以提高肖特基界面的热电子注入概率； 所述金属敏感膜的制作步骤如下： 1清洗溶液配制：Ⅰ号洗涤液将浓硫酸与双氧水按比例混合所得的溶液；Ⅱ号洗涤液是将氨水、双氧水、去离子水体积以设定的比例混合所得的溶液；Ⅲ号洗涤液由浓盐酸、双氧水、去离子水以设定的比例混合所得的溶液；将硅片依次置入Ⅰ号洗涤液，Ⅱ洗涤液，Ⅲ号洗涤液中超声清洗，最后用去离子水超声清洗，取出烘干； 2配置沉积液：硝酸银浓度是0.0125-0.05molL，离子水、氢氟酸和硝酸银溶液以一定的体积比例配置； 3银颗粒沉积：将EBL刻蚀后的样品置于沉积液中，计时5s,10s,15s,20s后取出； 4配置刻蚀液：过氧化氢和氢氟酸以设定比例混合，配置得到刻蚀液； 5金属辅助刻蚀：将样片置于刻蚀液中，将刻蚀温度设置为50-70摄氏度，计时5-20min，取出，总反应式：Si+4AgNO3+4HF→H2SiF6+4Ag+4HNO3 6银离子去除：将硝酸溶液与去离子水以一定比例混合，配置稀硝酸溶液，去掉微结构硅表面残余银离子；将刻蚀结束的样片置于稀硝酸溶液中20-40分钟，彻底溶解残余银离子后取出； 7清洗与保存：将样片使用超声洗涤仪洗涤，重复多次，将洗涤好的样片氮气小风吹干，放入恒温干燥箱中保存； 所述光吸收增强结构包括肖特基结，所述肖特基结通过在硅基底蚀刻出的阵列化图案与金属接触形成； 所述电流传输结构包括硅基底、P型导电结构、N型导电结构，所述光吸收增强结构生产的电流分别从P型和N型导电结构导出。

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