江西汉可泛半导体技术有限公司黄海宾获国家专利权
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龙图腾网获悉江西汉可泛半导体技术有限公司申请的专利在线式矫正载板加热变形的整平机构及其装置和整平方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119035307B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411355825.5,技术领域涉及:B21D1/00;该发明授权在线式矫正载板加热变形的整平机构及其装置和整平方法是由黄海宾;刘翠翠;王祥远设计研发完成,并于2024-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本在线式矫正载板加热变形的整平机构及其装置和整平方法在说明书摘要公布了:本申请涉及一种在线式矫正载板加热变形的整平机构,包括:固定支架;载板,该载板处于水平状态下并放置在固定支架的上侧的底部;固定整平组件,该固定整平组件设置在固定支架的下侧;第一驱动组件,该第一驱动组件设置在固定支架的下侧;柔性整平组件,该第一驱动组件与柔性整平组件驱动连接,使得载板分别与柔性整平组件和固定整平组件固定连接。此外,本发明还涉及一种包含上述整平机构的整平装置以及相应的整平方法。本发明能够实现设备在线地对载板整平,提高了生产效率,极大降低了易碎薄片在上下料过程中的碎片率。
本发明授权在线式矫正载板加热变形的整平机构及其装置和整平方法在权利要求书中公布了:1.一种在线式矫正载板加热变形的整平机构,应用于镀膜真空设备,其特征在于,包括: 固定支架; 载板,所述载板处于水平状态下并放置在所述固定支架的上侧的底部,所述载板用于承载易碎薄片且适配镀膜真空设备的在线上下料流程; 固定整平组件,所述固定整平组件设置在所述固定支架的下侧,所述固定整平组件通过短距离隔空吸引力与所述载板固定连接; 第一驱动组件,所述第一驱动组件设置在所述固定支架的下侧; 柔性整平组件,所述第一驱动组件与所述柔性整平组件驱动连接,使得所述载板分别与所述柔性整平组件和所述固定整平组件固定连接,所述柔性整平组件通过短距离隔空吸引力与所述载板固定连接, 其中所述短距离隔空吸引力包括引力、永磁力、电磁力、静电力、强力和弱力中的任意一种;所述柔性整平组件对平面最大高度误差小于30mm的载板进行初步整平,所述固定整平组件对平面最大高度误差小于10mm的载板进行精整平,并且所述固定整平组件将所述载板整平至平面最大高度误差小于1mm。
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