华中科技大学陈建魁获国家专利权
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龙图腾网获悉华中科技大学申请的专利一种新型显示喷印制造中薄膜形貌的白光干涉检测方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118243010B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410326845.3,技术领域涉及:G01B11/24;该发明授权一种新型显示喷印制造中薄膜形貌的白光干涉检测方法是由陈建魁;吴佳辉;尹周平;张舟设计研发完成,并于2024-03-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种新型显示喷印制造中薄膜形貌的白光干涉检测方法在说明书摘要公布了:本发明属于新型显示喷印制造领域,具体涉及一种新型显示喷印制造中薄膜形貌的白光干涉检测方法,包括:获取待测区域的系列白光扫描干涉图像;采用顶角法自适应判定待测区域为薄膜区域或边缘区域;对薄膜区域,采用各像素点的系列光强对比度及系列图像采集高度构建离散点进行包络提取及高斯拟合,确定对应像素点的拟合信号中双峰处的图像采集高度,计算对应像素点处的绝对膜厚;对边缘区域基于包络提取及高斯拟合自适应划分膜区和基板区,采用膜区内各像素点的拟合信号中较高峰值处的图像采集高度以及基板上某像素点的拟合信号中单峰处的图像采集高度,计算膜区对应像素点的相对膜厚。本发明方法能自适应地实现不同薄膜区域的精确形貌重构。
本发明授权一种新型显示喷印制造中薄膜形貌的白光干涉检测方法在权利要求书中公布了:1.一种新型显示喷印制造中薄膜形貌的白光干涉检测方法,其特征在于,包括: 获取喷印薄膜待检测区域的系列白光扫描干涉图像; 提取图像任三个顶角像素点在系列图像中的系列光强对比度,对每个顶角的系列光强对比度进行包络提取及高斯拟合,当三个顶角的拟合信号均为双峰信号,则判定待检测区域为薄膜区域,否则判定为薄膜边缘区域; 当为薄膜区域,则采用区域内各像素点的系列光强对比度及对应的系列图像采集高度构建离散点,以进行包络提取及高斯拟合,并确定对应像素点的拟合信号中双峰处的图像采集高度,以计算对应像素点处的膜厚;当为薄膜边缘区域,基于包络提取及高斯拟合对该区域像素点划分膜区和基板区,并采用膜区内各像素点的系列光强对比度及对应的系列图像采集高度构建离散点以进行包络提取及高斯拟合,确定对应像素点的拟合信号中较高峰值处的图像采集高度,采用基板区内某像素点的系列光强对比度及对应的系列图像采集高度构建离散点以进行包络提取及高斯拟合,确定该像素点的拟合信号中单峰处的图像采集高度,计算每个和的差值,作为膜区对应像素点的膜厚,完成检测; 其中,所述划分膜区和基板区的实现方式为: 1根据所述任三个顶角分别所对应的拟合信号为双峰信号或单峰信号,采用标记值m进行标记,双峰信号对应m取值为1,单峰信号对应m取值为0; 2若位于同一列的两个顶角的m取值不同,则提取第一列像素点坐标;若位于同一行的两个顶角的m取值不同,则提取第一行像素点坐标;并确定所提取系列像素点坐标中发生变化的维度坐标v取值范围为0到R-1或0到C-1,其中,R为干涉图像的总行数,C为干涉图像的总列数; 3将0赋值给a,将R-1或C-1赋值给b,分别提取v=a、b、int处像素点的系列光强对比度并经过所述包络提取及高斯函数拟合处理,对应得到三个像素点处的标记值、、,其中,int表示取整; 4若与取值不同,则与取值相同,将范围内各像素点的标记值的取值均置为,并将当前的取值赋值给b,重复执行步骤3;若与相同,则与取值不同,将范围内对应各像素点的标记值的取值均置为当前的取值,并将当前的取值赋值给a,重复执行步骤3; 5对所述待检测区域内其它各行或各列分别独立执行步骤3和4,以得到待检测区域内各像素点对应的m取值,基于m取值,实现膜区和基板区的划分。
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