中山智隆新材料科技有限公司丁金铎获国家专利权
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龙图腾网获悉中山智隆新材料科技有限公司申请的专利一种高密度高迁移率氧化铟掺杂靶材及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118026646B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410193760.2，技术领域涉及：C04B35/01；该发明授权一种高密度高迁移率氧化铟掺杂靶材及其制备方法是由丁金铎;葛春桥;陈露;梁齐莹设计研发完成，并于2024-02-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高密度高迁移率氧化铟掺杂靶材及其制备方法在说明书摘要公布了：本申请涉及靶材技术领域，具体公开了一种高密度高迁移率氧化铟掺杂靶材及其制备方法。一种高密度高迁移率氧化铟掺杂靶材，包括以下重量份的原料：氧化铟90‑98份，氧化锡5‑8份，稀土氧化物1‑3份，粘结剂0.5‑1.5份，分散剂0.5‑0.8份，稳定剂0.3‑0.5份，所述粘结剂为羧甲基纤维素和聚乙烯醇。本申请的一种高密度高迁移率氧化铟掺杂靶材，在各个组分的协同作用下，具有较高的致密度和迁移率。
本发明授权一种高密度高迁移率氧化铟掺杂靶材及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种高密度高迁移率氧化铟掺杂靶材，其特征在于，包括以下重量份的原料：氧化铟90-98份，氧化锡5-8份，稀土氧化物1-3份，粘结剂0.5-1.5份，分散剂0.5-0.8份，稳定剂0.3-0.5份，氯金酸1-3份，聚乙烯吡咯烷酮3-5份;所述粘结剂为羧甲基纤维素和聚乙烯醇；预先通过氯金酸在氧化铟的表面沉积纳米金颗粒，形成氧化铟复合颗粒，然后将聚乙烯吡咯烷酮溶解与氧化铟复合颗粒加热混合，反应后冷却，抽滤、洗涤，得到改性氧化铟颗粒； 所述高密度高迁移率氧化铟掺杂靶材的制备方法，包括以下具体步骤： 将氧化铟、氧化锡、稀土氧化物、粘结剂、分散剂和稳定剂混合研磨，依次进行喷雾造粒、模压、冷等静压制得素坯，然后将素坯烧结得到高密度高迁移率氧化铟掺杂靶材；所述烧结包括热处理和高温烧结，所述热处理温度为400-600℃，所述高温烧结为1500-1600℃。
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