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龙图腾网获悉电子科技大学申请的专利一种镍基合金上的铝成分梯度变化的镍铬铝钇过渡层获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118007063B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410205636.3，技术领域涉及：C23C14/16；该发明授权一种镍基合金上的铝成分梯度变化的镍铬铝钇过渡层是由赵晓辉;张劲宇;陈哲;裴伟钦;蒋洪川设计研发完成，并于2024-02-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种镍基合金上的铝成分梯度变化的镍铬铝钇过渡层在说明书摘要公布了：一种镍基合金上的铝成分梯度变化的镍铬铝钇过渡层，属于薄膜传感器设计与生产技术领域。所述过渡层包括NiCrAlY薄膜和热生长α‑Al2O3层，NiCrAlY薄膜中Al含量自下而上逐渐增加，采用两种铝含量不同的NiCrAlY靶材双靶溅射得到，热生长α‑Al2O3层通过真空析铝和热氧化得到。本发明NiCrAlY层表面有充足的Al元素，可以用更短的退火时间和更低的退火温度在NiCrAlY表面富集充足的Al，降低热处理时间过长、温度过高对基底的损坏；利于在后续氧化过程中生成平整致密、厚度充足的α‑Al2O3，有利于后续生长出性能良好的氧化物绝缘层。

本发明授权一种镍基合金上的铝成分梯度变化的镍铬铝钇过渡层在权利要求书中公布了：1.一种镍基合金上的铝成分梯度变化的镍铬铝钇过渡层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： 步骤1、镍基合金的表面处理； 对镍基合金表面进行机械抛光，然后依次在丙酮、乙醇和去离子水中超声清洗，完成后对合金表面进行干燥，并用离子表面处理炉进行活化处理； 步骤2、在镍基合金上通过双靶磁控溅射沉积Al含量梯度变化的NiCrAlY薄膜； 将步骤1处理后的镍基合金放入多靶共溅射真空镀膜设备，以铝含量0.5%~10%的NiCrAlY靶材作为第一靶材，铝含量10%~20%的NiCrAlY靶材作为第二靶材，将设备抽真空至8×10-4Pa以下，镍基合金基底加热到300~600℃；将第一靶材以100~500W的功率、第二靶材以10~50W的功率进行预溅射；然后，在第一靶材功率为100~500W、第二靶材功率为10~50W的条件下溅射6~10小时，溅射过程中，每隔1~2小时降低第一靶材的溅射功率并同时升高第二靶材的溅射功率，直至第一靶材的溅射功率降为0；关闭第一靶材，继续溅射第二靶材1~2h，得到厚度为10~20μm、Al含量梯度变化的NiCrAlY薄膜； 步骤3、NiCrAlY薄膜的真空析铝和热氧化； 将步骤2得到的沉积有NiCrAlY薄膜的镍基合金放入退火炉中，将石英管抽真空至8×10-4Pa以下后，升温至900~1000℃，真空析铝使NiCrAlY薄膜表面富集Al元素后，向石英管中通入氧气，将氧分压控制在100Pa，进行氧化处理6~12h，得到厚度为1~2μm的热生长α-Al2O3层。

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