上海富乐德智能科技发展有限公司徐忆濛获国家专利权
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龙图腾网获悉上海富乐德智能科技发展有限公司申请的专利一种半导体设备静电吸盘的湿法清洁工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117772688B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311599182.4，技术领域涉及：B08B3/08；该发明授权一种半导体设备静电吸盘的湿法清洁工艺是由徐忆濛;贺贤汉;杨炜;蒋立峰;王成明设计研发完成，并于2023-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体设备静电吸盘的湿法清洁工艺在说明书摘要公布了：本发明涉及零件修复再生技术领域。一种半导体设备静电吸盘的湿法清洁工艺，包括如下步骤：步骤一，氟化铵浸泡；用胶带保护静电吸盘的阳极氧化面，将部件浸泡在氟化铵药液中；步骤二，热水浸泡；步骤三，打磨；将工作面的氦气孔与提拉孔用圆形胶带进行保护，将部件固定于打磨机上，步骤四，高压水清洗；去除保护，将打磨后的静电吸盘用高压水整体冲洗。步骤五，超声波清洗；步骤六，干燥；吹干后的部件放至无尘烘箱内进行加热干燥。有效的去除了表面沉积，提高了清洁程度，增加了部件的重复使用次数，减少了部件采购成本，具有较高的工业应用价值。
本发明授权一种半导体设备静电吸盘的湿法清洁工艺在权利要求书中公布了：1.一种半导体设备静电吸盘的湿法清洁工艺，包括如下步骤： 步骤一，氟化铵浸泡； 用胶带保护静电吸盘的阳极氧化面，将部件浸泡在氟化铵药液中，总浸泡时间为3-6小时； 步骤二，热水浸泡； 将静电吸盘放置于固定平台上，用60℃的热水浸泡2-5小时； 步骤三，打磨； 将工作面的氦气孔与提拉孔用圆形胶带进行保护，将部件固定于打磨机上，打磨机转速设置为80-120rpm，总打磨时间为2-10小时； 步骤四，高压水清洗； 去除保护，将打磨后的静电吸盘用高压水整体冲洗，冲洗压力设定在2-6MPa； 步骤五，超声波清洗； 将部件搬运至100级无尘室进行超声波清洗，超声波功率密度为4-10win2，超声时间为5-15min，最后用氮气吹干； 步骤六，干燥； 吹干后的部件放至无尘烘箱内进行加热干燥。
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