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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117696367B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311182737.5，技术领域涉及：B05C5/02；该发明授权基板处理装置是由大森雅文设计研发完成，并于2023-09-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种一边使狭缝喷嘴相对于保持于载物台上的基板移动，一边对基板进行涂布的基板处理装置，在具备载置基板的载物台的涂布装置中，特别是在载物台是大型的情况下，适当地分解装置，进而容易进行组装后的调整作业。在本发明的基板处理装置中，相对于载物台块，引导构件延伸设置且在喷嘴移动的方向第一方向上结合有延伸构件。在延伸构件上设置有延长引导构件。另外，矩形的载物台将第一方向作为短边方向设定在载物台块的上表面。使载物台块的短边方向与载物台的短边方向一致，并且使其与喷嘴移动的方向一致，在此基础上，通过在该方向上分解装置，能够以满足限制尺寸条件的方式进行分解，并且能够在该条件下确保最大尺寸的载物台。

本发明授权基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其中， 具有： 载物台块，具有彼此平行的一对侧面，在上表面设置有能够载置基板的平坦的载物台； 一对引导构件，在将与一对所述侧面垂直的方向设为第一方向并将与所述第一方向垂直且沿着所述载物台的上表面的方向设为第二方向时，在比所述第二方向上的所述载物台的两端部分别靠外侧的位置，夹着所述载物台并沿着所述载物台块的上表面在所述第一方向上延伸设置； 喷嘴块，具有：喷嘴，在所述载物台的上方设置有将所述第二方向作为长度方向呈狭缝状开口的喷出口；以及喷嘴支承部，支承所述喷嘴并且以在所述第一方向上移动自如的方式与一对所述引导构件中的每一个卡合； 一对延伸构件，以从一对所述侧面中的一方在所述第一方向突出的方式装卸自如地与所述载物台块结合； 一对延长引导构件，被一对所述延伸构件各自从下方支承，并且与一对所述引导构件的各自的所述第一方向上的端部接合而沿所述第一方向延伸； 移动机构，使所述喷嘴块沿一对所述引导构件以及一对所述延长引导构件移动；以及 维护部，在俯视时设置于一对所述延长引导构件之间，执行对所述喷嘴的维护， 一对所述延伸构件被设置为从所述第二方向夹着用于配置所述维护部的空间， 所述载物台在俯视时具有以所述第一方向为短边方向的长方形形状， 所述载物台块的所述第一方向上的长度小于所述第二方向上的长度， 所述引导构件在比所述载物台块的上表面的所述第一方向上的端部靠内侧的位置终止，另一方面，所述延长引导构件突出至比所述延伸构件的所述第一方向上的端部靠外侧的位置， 所述延长引导构件中的突出至比所述延伸构件的所述第一方向上的端部靠外侧的位置的部位固定在所述载物台块的上表面， 所述移动机构是具有定子和动子的两个线性电机，所述两个线性电机分别设置于所述载物台块以及所述延伸构件的所述第二方向的两侧，所述定子沿所述第一方向延伸设置，并且能够分解成设置于所述载物台块的部分和设置于所述延伸构件的部分， 通过在载置于所述载物台块的所述载物台的所述基板的上方利用所述移动机构使所述喷嘴块沿所述一对引导构件在所述第一方向上移动，从而一边使所述喷嘴移动一边从所述喷出口喷出处理液来向所述基板的上表面涂布所述处理液。

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