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龙图腾网获悉中建材玻璃新材料研究院集团有限公司;中国建材集团有限公司申请的专利一种反式钙钛矿电池用锌、钴共掺杂NiOX薄膜的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117488254B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311374555.8，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种反式钙钛矿电池用锌、钴共掺杂NiOX薄膜的制备方法是由彭寿;杨扬;钱学君;姚婷婷;李刚;王天齐;金克武;甘治平;夏申江;蒋继文;张宽翔设计研发完成，并于2023-10-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种反式钙钛矿电池用锌、钴共掺杂NiOX薄膜的制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种反式钙钛矿电池锌、钴共掺杂NiOX薄膜的制备方法，包括以下步骤：S1、选取衬底，先用洗涤剂、去离子水超声清洗后，然后依次放入丙酮、无水乙醇中分别超声清洗，用氮气枪将衬底干燥；S2、把衬底采用射频等离子体叠加脉冲负偏压对衬底清洗；S3、把清洗后的衬底采用直流射频耦合反应溅射工艺在ITO表面沉积NiOX薄膜，同时采用直流溅射工艺在ITO表面共沉积金属锌和金属钴；S4、溅射完成后，待衬底冷却到室温，加热衬底恒温后，再次冷却至室温取出样品，得到锌、钴共掺杂NiOX薄膜，本发明制备的掺杂NiOX薄膜具有更好的电学性能和透过率，在掺杂NiOX薄膜上制备的钙钛矿薄膜吸收效果稳定，有利于反式钙钛矿电池具有更高的光电转换效率和稳定性。

本发明授权一种反式钙钛矿电池用锌、钴共掺杂NiOX薄膜的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种反式钙钛矿电池用锌、钴共掺杂NiOX薄膜的制备方法，其特征在于，该方法具体包括以下步骤： S1、选取预先图案化的ITO玻璃为衬底，其方阻为10Ω，先用洗涤剂、去离子水超声清洗20分钟后，然后依次放入丙酮、无水乙醇中分别超声清洗15分钟后，用氮气枪将衬底干燥； S2、把衬底放入等离子体清洗设备中，采用射频等离子体叠加脉冲负偏压对衬底清洗； S3、把清洗后的衬底放入真空镀膜室，采用直流射频耦合反应溅射工艺在ITO表面沉积NiOX薄膜，同时采用直流溅射工艺在ITO表面共沉积金属锌和金属钴； 步骤S3采用直流射频耦合反应溅射工艺在ITO表面沉积NiOX薄膜，同时采用直流溅射工艺在ITO表面共沉积金属锌和金属钴，使用三靶共溅射设备，溅射靶材分别为镍金属靶，锌金属靶和钴金属靶，其中镍靶的溅射电源为直流和射频耦合电源，锌靶和钴靶的溅射电源均为直流电源，溅射工艺气体为Ar，反应气体为O2，磁控溅射的本底真空度≤4×10-4Pa，工作压强为2×10-1Pa，Ar流量为30sccm，O2流量为10sccm，镍靶的溅射功率为射频电源为50~80W，直流电源为80~120W，锌靶的溅射功率为直流电源50W，钴靶的溅射功率为直流电源30W； 步骤S3采用直流射频耦合反应溅射工艺在ITO表面沉积NiOX薄膜，同时采用直流溅射工艺在ITO表面共沉积金属锌和金属钴，溅射时先开启镍靶电源，待辉光稳定后缓慢通入O2，溅射2min后，关闭O2流量阀，同时开启锌靶和钴靶电源，溅射30s后，关闭锌靶和钴靶电源，再次开启O2流量阀，溅射3min后，得到厚度为20~30nm的锌、钴共掺杂NiOX薄膜； S4、溅射完成后，待衬底冷却到室温，加热衬底至100~200℃，恒温15~60分钟，待衬底再次冷却到室温，破真空取出样品，得到锌、钴共掺杂NiOX薄膜。

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