歌尔微电子股份有限公司邹泉波获国家专利权
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龙图腾网获悉歌尔微电子股份有限公司申请的专利MEMS麦克风及麦克风加工工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117319907B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210706762.8，技术领域涉及：H04R19/04；该发明授权MEMS麦克风及麦克风加工工艺是由邹泉波;王喆;邱冠勋设计研发完成，并于2022-06-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本MEMS麦克风及麦克风加工工艺在说明书摘要公布了：本申请实施例公开了一种MEMS麦克风及麦克风加工工艺，MEMS麦克风包括基底以及安装于所述基底上的第一振膜、第二振膜以及背极板，所述第一振膜与第二振膜之间设置有支撑柱，所述背极板上设有通孔，所述支撑柱穿过所述通孔，所述支撑柱包括连接于所述第一振膜连接的第一支撑柱、连接于所述第二振膜的第二支撑柱，所述第一支撑柱和或所述第二支撑柱采用塑性材料制成。本申请实施例的一个技术效果在于通过将第一支撑柱和或第二支撑柱采用塑性材料制成，从而实现在对振膜提供足够支撑的前提下，大幅度降低应力集中效应，从而提高了MEMS麦克风的结构可靠性。
本发明授权MEMS麦克风及麦克风加工工艺在权利要求书中公布了：1.一种MEMS麦克风，其特征在于，包括基底1以及安装于所述基底1上的第一振膜2、第二振膜3以及背极板4，所述第一振膜2及所述第二振膜3间隔设置于所述背极板4的两侧； 所述第一振膜2与第二振膜3之间设置有支撑柱5，所述背极板4上开设有通孔41，所述支撑柱5穿过所述通孔41； 所述支撑柱5包括连接于所述第一振膜2连接的第一支撑柱51、连接于所述第二振膜3的第二支撑柱52，所述第一支撑柱51采用塑性材料制成，所述第二支撑柱52采用高密度硬材料，所述第一支撑柱51的横截面积大于所述第二支撑柱52的横截面积。
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