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龙图腾网获悉中国工程物理研究院应用电子学研究所申请的专利一种毫米波频段的微波等离子体化学气相沉积装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117265514B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311095243.3，技术领域涉及：C23C16/511；该发明授权一种毫米波频段的微波等离子体化学气相沉积装置是由黄麒力;孙迪敏;马国武;龚胜刚;谢蛟;向永飞;卓婷婷;胡林林;胡鹏;蒋艺设计研发完成，并于2023-08-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种毫米波频段的微波等离子体化学气相沉积装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种毫米波频段的微波等离子体化学气相沉积装置，属于化学气相沉积技术领域，包括微波源、分束器、移相模块以及真空腔，微波源用于产生毫米波频段的波束，分束器用于将毫米波频段的波束转换为多个幅度和相位分布相同的子波束，移相模块的内部填充有铁氧体，用于调节子波束相位，真空腔的内部设有用于放置样品的样品台，调节相位后的子波束合成于样品上，本发明通过移相模块实现波束相位的快速调节，实现合成驻波场波腹、波谷位置的快速变化，以解决现有技术中驻波场均匀性问题。

本发明授权一种毫米波频段的微波等离子体化学气相沉积装置在权利要求书中公布了：1.一种毫米波频段的微波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于，包括： 微波源，其用于产生毫米波频段的波束； 分束器，其用于将毫米波频段的波束转换为多个幅度和相位分布相同的子波束； 移相模块，其内部填充有铁氧体，用于调节子波束相位，所述移相模块依次包括第一极化转换段、移相段以及第二极化转换段，所述第一极化转换段包括磁环以及第一铁氧体，所述第一铁氧体嵌入所述磁环的内部，所述磁环的内部产生横向磁场，第一极化转换段利用第一铁氧体的双折射效应，在外置横向磁场的作用下将子波束由线极化波转换为圆极化波，所述第二极化转换段与所述第一极化转换段的结构相同，第二极化转换段利用第一铁氧体的双折射效应，在外置横向磁场的作用下将子波束由圆极化波转换回线极化波，所述移相段包括激励线圈以及第二铁氧体，所述第二铁氧体嵌入所述激励线圈的内部，所述激励线圈与移相电源连接，移相段利用第二铁氧体的法拉第旋转效应，通过调节所述移相电源的输出电流，改变激励线圈中的电流大小，控制所述第二铁氧体的磁导率以改变传播常数，实现子波束相位调整； 以及真空腔，其内部设有用于放置样品的样品台，调节相位后的子波束合成于所述样品上。

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